第三章 溅射镀膜_图文_百度文库
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第三章 溅射镀膜
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你可能喜欢热阴极电离真空计稳定发射电流的晶体管电路的设计--《真空电子技术》1978年04期
热阴极电离真空计稳定发射电流的晶体管电路的设计
【摘要】：正 一、引言热阴极电离计可测量从低真空(例如10乇)到极高真空(例如10~(-13)乇)的气体压强,是一种基本的物理仪器。其工作原理是根据Barkhauszen方程: ρ=I_+/SI_e。式中ρ是气体压强,I_e是灯丝(阴极)发射的电子电流,I_+是收集到的正离子电流。显然,为了使ρ与I_+成正比关系,必须满足以下两个条件:
【作者单位】：
【关键词】：
【正文快照】：
一日厄套. 、Jl‘J 热阴极电离计可测量从低真空(例如10毛)到极高真空(例如10一‘”毛)的气体压强,是一种基本的物理仪器。其工作原理是根据Barkhauszen方程: I二 P=下万下一。 厂51。’式中p是气体压强,I。是灯丝(阴极)发射的电子电流,I+是收集到的正离子电流。显然,为了使
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气体放电学原理
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你可能喜欢热阴极电离真空计的工作原理 - 真空技术网
热阴极电离真空计的工作原理
来源:真空技术网（）合肥众成生物工程设备有限公司　作者:黄文平
&&&&&&&& 真空技术的应用涉及到各个领域, 大到航天设备,小到普通的灯泡。真空度的测量无疑是的关键, 作为真空度测量设备的真空计类型很多, 其灵敏度、量程和用途各不相同, 常用的有、(电阻) 真空计、真空计和热阴极电离真空计等,前三者都是用于低真空测量的。本文将详细介绍用于高真空测量的热阴极电离真空计的工作原理。
&&&&&&&& 当气体导电时, 气体分子与高速飞行的电子发生碰撞而电离, 碰撞的频率与气体分子的密度有关。密度大, 碰撞的频率就高, 产生的离子也越多; 而气体分子的密度又与气体的压强有着直接关系, 因此, 如果能测定气体中被电离的离子流的大小, 即可确定气体的压强。热阴极电离真空计就是根据上述原理制成的, 其原理如图1所示。
图1　电离规管结构示意图
&&&&&&&& 热阴极F通电加热后向外发射电子,形成电子流Ie。在栅极C 上加一约为150 V～ 200 V 的正电压, 这一正电压可吸引和加速由热阴极发射出来的电子。被加速的电子穿过栅极后, 因收集极T 的电压相对栅极C 为负电压, 电子又被收集极T 推回, 再加速向栅极返回。这样, 电子在往返的运动中增大了与气体分子碰撞的概率, 使更多的气体分子电离, 变成正离子和二次电子, 而正离子又将被电位最低的收集极T 所吸引,在收集极电路中形成电流I i, 在数值上该电流就是正离子流的大小, 并且与的压强以及电子流I e有着如下关系:
&&&&&&&& 式中: Ii为被电离的气体正离子流; K为无量纲的比例系数, 其数值是由各电极材料、形状、相对位置和相对电势等因素决定的常量, 可以简单理解为电离效率; Ie为热阴极发射的电子流; P为真空系统的压强, 是我们所要测量的量。
&&&&&&&& 在实际应用中为了简化设计, 一般都是把Ie控制在一个固定的数值上, 这样就能把K I e 也看做常量F= (KIe)-1, 把F代入式(1), 再经过变化后得到:
&&&&&&&& 显然, 为了求出压强P , 只要测量I i 就可以了。但实际应用中还受许多因素的影响: 如果电极的面积很大, 将会把高压强时吸附的气体释放出来, 这种释气现象对低真空的测量影响较大; 电子轰击金属表面会有X 射线产生, 射线的影响在超高真空测量时尤其明显;由于不同气体分子被电离的难易程度不同, 因此在使用时, 对不同的气体要分别进行校正。
&&&&&&&& 如果电子流过大, 而气体分子密度较低, 会发生饱和现象, 离子流和电子流不再有式(1) 中的线性关系;并且如果电子过大, 灯丝(热阴极) 的加热电流需要提高, 将会严重影响灯丝的使用寿命, 因此实际使用中,电子流一般为0.1mA～ 10mA。由于低真空时的压强P 很小, 离子流在皮安数量级, 为了提高灵敏度, 经常采用不同电子流来分别测量不同真空段的压强。
　　为真空技术网首发，转载请以链接形式标明本文首发网址。
　　与 真空规管 热阴极电离计 相关的文章请阅读：一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置的制作方法
专利名称一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置的制作方法
技术领域本发明涉及一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置。
背景技术真空阴极电弧沉积是当前离子镀工模具用和装饰用硬质保护薄膜的主流技术之一。具体的镀膜过程如下:真空阴极电弧蒸发源安装在真空镀膜室侧壁上，蒸发源前端穿入真空镀室内，其上的镀料一靶块面朝着真空镀室内的待镀工件，由弓I弧装置在靶块表面引燃成簇的真空电弧微弧斑，弧斑区的高温和场致效应作用让靶材蒸发生成金属蒸气，并电离成等离子体向空间发射，在工件表面沉积成薄膜。引弧装置是阴极电弧蒸发源不可或缺的组成部分。目前国产的阴极电弧蒸发源大多采用机械接触式引弧装置，有气动和电动两种。图1是现在常用的气动引弧装置的结构示意图，主要由活塞组件1-11、活塞延伸杆1-4、引弧针1-2、密封绝缘件1-6、动密封1-7、动密封压垫1-8和活塞组件支承件1-10组成。活塞组件1-11多为外购件。如图1所示，活塞组件支承件1-10把活塞组件1-11垂直固定在电弧蒸发源连接法兰1-5外侧，活塞延伸杆1-4与活塞组件1-11同轴设置，相对的端面上通过连接螺杆1-9将两者固定连接。活塞延伸杆1-4前端穿过电弧蒸发源连接法兰1-5上开孔进入电弧蒸发源连接法兰1-5的内侦U。动密封压垫1-8、动密封1-7、密封绝缘件1-6依次套装在活塞延伸杆1-4上。其中，密封绝缘件1-6设置在电弧蒸发源连接法兰1-5外侧开孔处，动密封1-7嵌装在密封绝缘件1-6的外端面内，动密封压垫1-8通过活塞组件支撑件1-10压装在所述动密封1-7和密封绝缘件1-6上，以保证活塞延伸杆1-4与电弧蒸发源连接法兰1-5之间的密封性。引弧针1-2通过压紧螺钉1-3夹装在活塞延伸杆1-4的前端，与活塞延伸杆1-4构成直角杆状，弓丨弧针的前端具有朝向靶块1-1表面的弯头。引弧过程如下:当活塞组件1-11后退运动时，带动活塞延伸杆1-4后退，活塞延伸杆1-4前端连接的引弧针1-2的弯头触碰到靶块1-1表面。阴极电弧蒸发源的靶块1-1接蒸发源的电源负极，活塞组件1-11及引弧针1-2接电源正极，在引弧针1-2与靶块1-11接触瞬间，流过短路大电流；随即，活塞组件1-11反向运动，带动活塞延伸杆1-4和引弧针1-2向前运动，引弧针1-2前端弯头离开靶块1-1表面，在此分离瞬间，在引弧针1-2与靶块1-1原接触面一些突起尖端处集中着非常高的电流密度，会引燃起电弧，生成成簇的电弧微弧斑。以上完成一次引燃电弧过程。现常用的引弧装置在使用时存在如下缺点:1)活塞延伸杆1-4在引弧时通过大电流会发热，尤其在真空室内长时间 受到热辐射温度升高，活塞延伸杆的温升直接传导给套装其上的绝缘密封组件即密封绝缘件1-6、动密封1-7和动密封压垫1-8。首当其冲的是密封绝缘件1-6，它一般是用聚四氟乙烯制成的，长时间受热下常出现变形，易破坏电弧蒸发源连接法兰1-5与活塞延伸杆1-4之间的真空密封，出现漏气问题。2)活塞延伸杆1-4较长，中间定位只通过橡胶或塑料的密封绝缘件1-6，起不了很好的准直作用，活塞延伸杆1-4会出现空间上的摆动，从而导致引弧针1-2与靶块1-1的触点移位。3)活塞延伸杆1-4与活塞组件1-11之间靠连接螺杆1-9连接，在活塞组件1-11前后运动的振动冲击下，会导致连接螺杆1-9松动，即活塞延伸杆1-4会转动和前移，进而带动引弧针1-2转动及迁移，造成引弧针1-2位置偏移且增大了引弧针1-2离靶块1-1表面的距离，使引弧针1-2弯头无法与靶块1-1表面接触而无法引弧，必须破真空进行调整。
本发明所要解决的技术问题是，提供一种能减少不良品率，提高生产效率，降低生产成本的气动式引弧装置。本发明通过如下技术方案解决其技术问题，一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，其特征在于，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述弓I弧器底座的前端面内。本发明此处通过金属的引弧器底座隔开密封绝缘件和活塞延伸杆，使密封绝缘件不直接与较高温的活塞延伸杆接触，不易在较高温的活塞延伸杆的作用下发生形变而破坏电弧蒸发源连接法兰与活塞延伸杆之间的密封性，从而造成漏气的问题；另外，本发明的动密封是嵌装在金属的引弧器底座内，由于引弧器底座体积和热容都较大，故动密封受较高温的活塞延伸杆的影响不会太大，能保持良好的真空密封性；而保持电弧蒸发源连接法兰内侧的真空密封性，有利于减少广品的不良品率，提闻生广效率，降低生广成本。所述密封绝缘件为一具有外翻边的绝缘套筒,所述绝缘套筒的外径与所述电弧蒸发源连接法兰上开孔孔径相适配，安装后，所述绝缘套筒的外翻边夹装在所述引弧器底座底面与所述电弧蒸发源连接法兰之间，所述绝缘套筒伸入所述电弧蒸发源连接法兰上开孔的内侧。作为对本发明的一种改进，引弧器底座后端底面上的凸起为环形凸起，所述环形凸起为所述引弧器底座上套孔孔壁的延伸，构成所述活塞延伸杆在所述引弧器底座上的准直孔，所述准直孔长度范围为50— 75mm。上述准直孔可限制活塞延伸杆在空间的摆动，使弓I弧针弯头能更准确的碰触到靶块表面位置。作为对本发明的进一步改进，所述活塞延伸杆和活塞组件一体成型形成所述引弧装置的活塞杆，如此即可避免由于原活塞延伸杆和原活塞组件之间连接松动、造成的引弧针位置偏移或引弧针离靶块表面距离增大而出现的引弧针弯头无法与靶块表面接触无法引弧、必须破真空进行调整的问题。所述活塞杆尾端具有轴向的劈口， 使活塞杆尾端形成非圆形杆状结构，所述引弧装置还包括防转片，所述防转片上具有与活塞杆尾端劈口段相适配的非圆形开孔，所述防转片平行固定在所述活塞组件支撑件上，并通过其上的非圆形开孔套装在活塞杆尾端的劈口段上，从而保证活塞杆只作往复直线运动而不发生转动，更进一步的防止由于活塞杆转动而造成的引弧针移位的问题。所述的活塞组件支撑件为固定在所述防转片与所述引弧器底座之间的用于驱动所述活塞杆作往复直线运动的气缸。所述气缸包括下气缸盖、气缸壁套和上气缸盖，还包括用于调节活塞杆行程的行程调节垫圈；所述上、下气缸盖都为盖形，具有盖沿，其中所述下气缸盖内侧向上，所述上气缸盖内侧向下，所述气缸壁套为筒形，所述上、下气缸盖分别从所述气缸壁套的上、下端扣合在所述气缸壁套上，气缸壁套两端的外壁分别通过密封圈与上、下气缸盖的盖沿内侧密封，所述行程调节垫圈支撑在上、下气缸盖沿的相对面间，下气缸盖固定在所述引弧器底座上，所述引弧装置还包括用于使所述防转片始终套装在活塞杆尾端劈口段合适位置处的补偿垫，所述补偿垫平行设于所述上气缸盖与所述防转片之间，所述上、下气缸盖中部都开有中孔，所述活塞杆轴向穿过所述气缸壁套和上、下气缸盖的中孔，并分别通过密封圈与所述上、下气缸盖的中孔的内壁实现可滑动的密封连接，所述活塞杆上具有一体成型的环翼，所述环翼为活塞杆上径向凸出的圆环，所述环翼处于所述上、下气缸盖和气缸壁套围合的空间内，所述环翼的侧壁同样通过密封圈与所述气缸壁套内壁实现可滑动的密封连接，所述上、下气缸盖上分别还开有进出气道，所述上、下气缸盖上的进出气道分别与所述环翼的上、下侧连通。所述引弧器底座底面与密封绝缘件之间、所述密封绝缘件的外翻边与电弧蒸发源连接法兰之间分别设有用于加强它们的密封性的密封圈。所述活塞杆尾端底面上设有阴螺孔，阴螺孔内设有便于活塞杆与电弧源连线的压紧螺钉。有益效果:1)本发明的绝缘密封件不与受热的活塞杆直接接触，故绝缘密封件不会在活塞杆的高温下发生形变而导致密封性被破坏；另外，本发明的动密封不是嵌装在绝缘密封件内，而是嵌入金属的引弧器底座内，由于底座具有较大的热容，让动密封有良好的散热环境，不至温升过高而破坏真空，因此本发明克服了现常用的引弧装置经常漏气的缺点，有利于减少广品的不良 品率，提闻生广效率，降低生广成本；
2)本发明的活塞延伸杆和活塞组件一体成型，克服了现有技术中由于连接活塞延伸杆和活塞组件的螺杆松动导致的引弧针位置偏移甚至造成无法引弧的问题；
3)本发明设计金属的引弧器底座，并使活塞杆穿过引弧器底座上较长的准直孔，可起到限制活塞杆在空间上摆动的作用，使引弧针能更准确的碰触到靶块表面的合适位置；
4)本发明设置防转片，有效地克服了由于活塞杆转动造成的引弧针位置偏移的问题；
上述各项改进的综合，使本发明可以有力减少真空阴极电弧蒸发源运作过程中的事故
率，减少停机维修时间，减少不良品率，从而提闻生广效率，降低生广成本。
图1是现在常用的气动引弧装置的结构示意
图2为本发明较佳实施例的引弧装置的引弧针触碰到靶块表面时的结构示意
图3为本发明较佳实施例的引弧装置的引弧针离开靶块表面时的结构示意
图4为本发明较佳实施例的引弧装置气缸部分的放大图。
具体实施例方式本发明较佳实施例的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，如图2、3、4简称引弧装置包括弓I弧针2、活塞杆4、刚制的弓I弧器底座10、密封绝缘件5、动密封11、动密封压垫12、活塞组件支撑件、防转片23。引弧器底座10也可由其它金属材料制成，如铜等。活塞杆4由前端的活塞延伸杆和后端的活塞组件一体加工而成。如此即可避免由于现有技术中的活塞延伸杆和活塞组件之间的连接松动造成的引弧针2位置偏移或引弧针2离靶块I表面距离增大而出现的引弧针2弯头无法与靶块I表面接触致无法引弧、必须破真空进行调整的问题。活塞杆4前端穿过电弧蒸发源连接法兰6上开孔进入电弧蒸发源连接法兰6的内侦U。引弧针2通过压紧螺钉3夹装在活塞杆4的前端，与活塞杆4构成直角杆状，引弧针2前端弯头朝向靶块I表面。密封绝缘件5为一具有外翻边51的绝缘套筒,绝缘套筒的外径与电弧蒸发源连接法兰6上开孔61孔径相适配，绝缘套筒伸入电弧蒸发源连接法兰6上开孔61的内侧。动密封压垫12、动密封11、引弧器底座10、密封绝缘件5依次套装在活塞杆4上。其中，密封绝缘件5设置在电弧蒸发源连接法兰6外侧开孔处。引弧器底座10具有中部套孔，引弧器底座10是通过其中部套孔套装在活塞杆4上的，引弧器底座10通过紧固螺钉7与电弧蒸发源连接法兰6固定连接，将密封绝缘件5的外翻边51夹装在引弧器底座10底面与电弧蒸发源连接法兰6之间。引弧器底座10后端底面上具有伸入密封绝缘件5的绝缘套筒与活塞杆4之间、用于隔开它们的环形凸起101，环形凸起101为引弧器底座10上套孔孔壁的延伸，构成活塞杆4在引弧器底座10上的准直孔，用于限制活塞杆4在空间上的摆动，使引弧针2弯头能更准确的碰触到靶块I的表面。密封绝缘件5 —般由聚四氟乙烯材料制成，本发明采用引弧器底座10彻底的隔离了活塞杆4与绝缘密封件5之间的直接接触，使绝缘密封件5不会因活塞杆4导热温度过高而使其发生形变从而破坏其真空密封。准直孔长度的推荐范围为50— 75mm。引弧器底座10底面与密封绝缘件5之间、密封绝缘件5的外翻边51与电弧蒸发源连接法兰6之间分别设有用于加强它们的密封性的密封圈9、8。活塞组件支撑件固定在引弧器底座的前端面上，动密封11、动密封压垫12都嵌装在引弧器底座10的前端面内，其中动密封压垫12覆盖在动密封11上并被活塞组件支撑件压紧，以保证活塞杆4与电弧蒸发源连接法兰6之间的密封性。活塞杆4的动密封11嵌入钢制的引弧器座体10中，由于引弧器底座10体积较大，热容也较大，故动密封11具有良好的散热环境，受活塞杆4导热温升的影响不会太大，能保持良好的真空密封性。如图4所示，活塞组件支撑件为固定在引弧器底座10上的用于驱动活塞杆4作往复直线运动的气缸。气缸包括下气缸盖14、气缸壁套16和上气缸盖21，还包括用于调节活塞杆4行程的行程调节垫圈28，上、下气缸盖21、14都为盖形，具有盖沿211和141，其中下气缸盖14内侧向上，上气缸盖21内侧向下，气缸壁套16为筒形，上、下气缸盖21、14分别从气缸壁套16的上、下端扣合 在气缸壁套16上,气缸壁套16两端的外壁分别通过密封圈27与上、下气缸盖21、14的盖沿211、141内侧密封，行程调节垫圈28支撑在上、下气缸21、14盖沿211、141的相对面间，下气缸盖14通过螺钉13固定在引弧器底座10上，上、下气缸盖21、14中部都开有中孔，活塞杆4轴向穿过气缸壁套16和上、下气缸盖21、14的中孔，并分别通过密封圈20、15与上、下气缸盖21、14上中孔的内壁实现可滑动密封连接。活塞杆4上具有一体成型的环翼18，环翼18为活塞杆4上径向凸出的圆环。环翼18处于上、下气缸盖21、14和气缸壁套16围合的空间内，环翼18的侧壁同样通过密封圈17与气缸壁套16内壁实现可滑动密封连接。上、下气缸盖21、14上分别还开有进出气道19(下气缸盖14上的进出气道未画出)，上、下气缸盖21、14上的进出气道19分别与环翼18的上、下侧连通。引弧装置还包括补偿垫22，补偿垫22平行设置在上气缸盖21上，补偿垫22上平行固定有防转片23。活塞杆4尾端具有轴向的劈口 24，使活塞杆尾端形成非圆形杆状结构，如图所示，防转片23上具有与活塞杆4尾端劈口段相适配的非圆形开孔，并通过其上的非圆形开孔套装在活塞杆4尾端的劈口段上，上述补偿垫22是用于保证无论如何调节气缸的行程、都可以通过更换具有不同厚度的补偿垫22从而使防转片23始终套装在活塞杆4尾端劈口段合适位置处，从而保证活塞杆4只作往复直线运动而不发生转动，更进一步的防止由于活塞杆4转动而造成的引弧针2移位的问题。活塞杆4的行程由活塞杆4上环翼18在气缸内往复直线运动的位移距离决定，它受在气缸内腔中上、下气缸盖21、14之间最大距离的限制，行程调节垫圈28可适当调节上、下气缸盖21、14之间的距离。铝制的补偿垫22垫在防转片23下，以配合活塞杆4行程调整后，防转片23与活塞杆4尾端劈口段配合的需要。上述防转片23、补偿垫22、上、下气缸盖21、14边缘的相应处都设有开孔，并由长螺钉26从上到下依次穿过防转片23、补偿垫22、上气缸盖21边缘处开孔和行程调节垫圈28的内圈孔及下气缸盖14边缘相应位置处的开孔，将它们固定在引弧器底座10。当然，它们之间的固定方式没有限制，只需使它们之间可以保持稳定的位置关系即可。活塞杆4尾端底面上设有阴螺孔，阴螺孔内设有活塞杆4与电弧源连线的压紧螺钉25，用于方便活塞杆4与电弧源的接线。上述各密封圈的安装都是在相应侧壁上开设凹槽，密封圈是嵌装在所述凹槽内的，如此不仅方便密封圈的安装，而且可以防止密封圈在装置运动时发生不必要的位移。下面结合附图，具体讲述本发明工作的过程:如图2、3、4所示，图2表示引弧针碰触阴极电弧蒸发源的靶块表面时的动作状况。此时，与下气缸盖14上的进出气道外连的气动阀门打开进气，导入压缩空气到气缸的下半部分，气体压力推动活塞杆4的环翼18使活塞杆4向上运动，同时环翼18上侧气缸中的气体，由上气缸盖21上的进出气道19通过与其外连的打开的气动阀门的排气口排出。环翼18在压缩空气的气压推动下上升至气缸顶部，带动引弧针2向靶块I表面移动并刚好碰触到靶块I表面。活塞杆4尾端连接引弧源正极，靶块I接引弧源负极，引弧针2与靶块I表面碰触形成短路，瞬间有短路大电流通过。随后控制电路会感知此短路大电流，立即改变外连的气动阀门的工作状态使其反倒过来，即给上气缸盖21的进出气道19导入压缩空气，使下气缸盖14的进出气道连通排气口，则压缩空气从气缸上半部分进入，从而推动活 塞杆4上的环翼18向下运动，并将气缸下半部分的压缩空气排出。此时，活塞杆4向下运动，带动引弧针2迅速脱离靶块I表面，原流过短路大电流的引弧针2和靶块I的接触面间，在不平的凸尖处存在极高的电流密度区，在引弧针2与靶块I分离的瞬间，会引燃起电弧，生成成簇的电弧微弧斑。环翼18在气缸上部的压缩空气的推动下下降到气缸底部，活塞杆4带动引弧针2向下运动从而离开靶块I表面一段距离，即如图3中所示的状态，即完成一次引燃电弧的动作。本发明可以通过调整行程调节垫圈28的厚度来调节活塞杆4上的环翼18上、下移动距离，从而调整引弧针2上、下移动的距离，上移时让引弧针2的弯头碰触到靶块表面并具有一定压力，下移时 让引弧针2离开靶块I表面适当的距离。
1.一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，其特征在于，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述弓I弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述弓I弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述弓I弧器底座的前端面内。
2.根据权利要求1所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述密封绝缘件为一具有外翻边的绝缘套筒，所述绝缘套筒的外径与所述电弧蒸发源连接法兰上开孔孔径相适配，安装后，所述绝缘套筒的外翻边夹装在所述引弧器底座底面与所述电弧蒸发源连接法兰之间，所述绝缘套筒伸入所述电弧蒸发源连接法兰上开孔的内侧。
3.根据权利要求2所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述引弧器底座底面与密封绝缘件之间、所述密封绝缘件的外翻边与电弧蒸发源连接法兰之间分别设有用于加强它们的密封性的密封圈。
4.根据权利要求1所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，引弧器底座后端底面上的凸起为环形凸起，所述环形凸起为所述引弧器底座上套孔孔壁的延伸，构成所述活塞延伸杆在所述引弧器底座上的准直孔，所述准直孔长度范围为50—75mm。
5.根据权利要求3所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，引弧器底座后端底面上的凸起为环形凸起，所述环形凸起为所述引弧器底座上套孔孔壁的延伸，构成所述活塞延伸杆在所述引弧器底座上的准直孔，所述准直孔长度范围为50—75mm。
6.根据权利要求1至5任一项所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述活塞延伸杆和活塞组件一体成型形成所述引弧装置的活塞杆。
7.根据权利要求6 所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述活塞杆尾端具有轴向的劈口，使活塞杆尾端形成非圆形杆状结构，所述引弧装置还包括防转片，所述防转片上具有与活塞杆尾端劈口段相适配的非圆形开孔，所述防转片平行固定在所述活塞组件支撑件上，并通过其上的非圆形开孔套装在活塞杆尾端的劈口段上。
8.根据权利要求7所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述的活塞组件支撑件为固定在所述防转片与所述引弧器底座之间的用于驱动所述活塞杆作往复直线运动的气缸。
9.根据权利要求8所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述气缸包括下气缸盖、气缸壁套和上气缸盖，还包括用于调节活塞杆行程的行程调节垫圈；所述上、下气缸盖都为盖形，具有盖沿，其中所述下气缸盖内侧向上，上气缸盖内侧向下，所述气缸壁套为筒形，所述上、下气缸盖分别从所述气缸壁套的上、下端扣合在所述气缸壁套上，气缸壁套两端的外壁分别通过密封圈与上、下气缸盖的盖沿内侧密封，所述行程调节垫圈支撑在上、下气缸盖沿的相对面间，下气缸盖固定在所述引弧器底座上，所述引弧装置还包括用于使所述防转片始终套装在活塞杆尾端劈口段合适位置处的补偿垫，所述补偿垫平行设于所述上气缸盖与所述防转片之间，所述上、下气缸盖中部都开有中孔，所述活塞杆轴向穿过所述气缸壁套和上、下气缸盖的中孔，并分别通过密封圈与所述上、下气缸盖的中孔的内壁实现可滑动的密封连接，所述活塞杆上具有一体成型的环翼，所述环翼为活塞杆上径向凸出的圆环，所述环翼处于所述上、下气缸盖和气缸壁套围合的空间内，所述环翼的侧壁同样通过密封圈与所述气缸壁套内壁实现可滑动的密封连接，所述上、下气缸盖上分别还开有进出气道，所述上、下气缸盖上的进出气道分别与所述环翼的上、下侧连通。
10.根据权利要求9所述的真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，其特征在于，所述活塞杆尾端底面上设有阴螺 孔，阴螺孔内设有便于活塞杆与电弧源连线的压紧螺钉。
一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内。本发明能减少不良品率，降低生产成本。
文档编号C23C14/32GKSQ
公开日日 申请日期日 优先权日日
发明者李志荣, 李志方, 罗志明, 李秋霞 申请人:东莞市汇成真空科技有限公司