为什么传统曝光机无法做比较密集曝光下载的线路?

UVLED曝光机光源
UV喷码印刷光源介绍:
深圳市蓝谱里克科技有限公司,中国最早的LED紫外线应用集成商,在PCB曝光光源的研发上做了精密细致的研究,公司最新开发的 PCB专用曝光机用紫外线光源,采用蓝谱里克自主封装方案,通过超大功率集成,低电压大电流均流分压方案,并配合专利的光学配光系统,保证了光源的系统稳定性和光源的均匀性。
曝光机光源优势:
1、较传统汞灯综合节能86%以上,无需更换灯管,不用冷却水
2、即开即关,没有待机耗损
3、精密的光学组合,使光源投射的平行半角小于2&
4、不含红外线,避免菲林胀缩,稳定的影像转移品质
5、LED逐点校正系统,确保发光强度的一致性
6、不含水银,不产生臭氧,UV led技术净化生产环境
7、LED寿命超过10000小时,能量衰减小于1%, 提高生产和品质的稳定性
UVLED相对传统UV高压汞灯性能对比
UVLED相对传统UV高压汞灯光谱对比
UVLED曝光机光源应用
用于半导体制造,光电电子,印刷制版,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术。
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提要: 日本尼康研制的FX-75S(85S)LCD用曝光机,是液晶面板生产线中,薄膜晶体管光刻技术的核心设备。每台占地面积11×15米,生产节奏为60秒每片。京东方8.5代线共采购了16台FX-85S曝光机,单台价格估计接近2亿元人民币。
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有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗
有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗,遇到点问题,可以做到3微米周期左右的图形吗,图形均匀吗,最近在光刻方面遇到点问题,曝出来的图像是孔状的,与掩膜板相距过大,不知如何解决,还请大神帮助
掩膜板是一个一个排列整齐的凸出正方形结构
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