原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 标准信息
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中文名称：
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文名称：
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态：
中国标准分类(CNS)：
国际标准分类(ICS)：
【17.040.20】
发布日期：
正版打印价格：
实施日期：
废止日期：
适用范围：
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
&&引用了下列标准（标注*的引用文件，其最新版本适用于本标准）
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&&&原子力显微镜测量物体表面粗糙度、平均高度、峰谷峰顶之间的最大距离的原理是啥？
原子力显微镜的测量物体形貌的原理？高度尺是怎么形成的？
济南试验机厂
探针上下振动，会有一个振幅
根据探针的受力状况，振幅不同，从而形成高度尺。
在接触模式下探针以固定的作用力扫描样品，样品表面的起伏会导致探针悬臂的弯曲变化，进而引起悬臂背面的激光反射位置发生变化，再转化为光电流的变化，再转换为表面的高度数据被设备保存，这样就得到了形貌的三维数据。
装逼只是瞬间，不要脸那才是永恒!
其他的粗糙度等衍生数据都是根据该三维数据进一步处理得到的
装逼只是瞬间，不要脸那才是永恒!
探针上下振动，会有一个振幅 根据探针的受力状况，振幅不同，从而形成高度尺。
不同测试方法是不一样的原子力显微镜有恒高模式和恒力模式，2楼的是恒力模式，但是基本原理差不多
探针上下振动，会有一个振幅
根据探针的受力状况，振幅不同，从而形成高度尺。
我觉得楼上的答对了部分
在接触模式下探针以固定的作用力扫描样品，样品表面的起伏会导致探针悬臂的弯曲变化
进而引起悬臂背面的激光反射位置发生变化
再转化为光电流的变化，再转换为表面的高度数据被设备保存
这样就得到了形貌的三维数据
其他的粗糙度等衍生数据都是根据该三维数据进一步处理得到的
不同测试方法是不一样的
原子力显微镜有恒高模式和恒力模式查看: 168|回复: 11
纵越团队刷销量
原子力显微镜中表示粗糙度的RMS与Rq是一个东西吗
妹妹我爱你
在ISO中，Rq是用来替代Rms的，Rms是Rq的前身，现在基本新图纸中都用Rq
在ISO中，Rq 是用来替代Rms的，Rms是Rq的前身，现在基本新图纸中都用Rq
pl1dwi360w
Rq 均方根粗糙度 Rq是在取样长度内，轮廓偏离平均线的均方根值，它是对应于Ra的均方根(Rms)参数。 这里 Rq的引出 均方根值是将每一个值平方，然后将该平方平均后再开平方。 与算术平均值相比，Rms（均方根值）具有侧重给出较高值的作用。这可用
我认为不论40的单位是nm还是um,跟英寸都没有关系，美国使用的长度单位与中国是一样的，都是公制，而只有英国使用英制，也就是英寸。既然rms 40出现在美国图纸中，也就不用和英寸做比较了。表面粗糙度算术平均偏差的参数符号为Ra表面粗糙度均方根
Ra 粗糙度算术平均 Ra是普遍公认的，最常用的粗糙度的国际参数。它是轮廓偏离平均线的算术平均，并且是在一个取样长度lr内定义的。 Rz 粗糙度最大峰－谷高度 Rz定义了在轮廓取样长度内的最大峰－谷高度。(例如，在取样长度内最高的峰和最深的谷
我认为不论40的单位是nm还是um,跟英寸都没有关系，美国使用的长度单位与中国是一样的，都是公制，而只有英国使用英制，也就是英寸。既然rms 40出现在美国图纸中，也就不用和英寸做比较了。表面粗糙度算术平均偏差的参数符号为Ra表面粗糙度均方根
Root Mean Square的缩写 RMS值实际就是有效值,就是一组统计数据的平方的平均值的平方根。 RMS＝（X1平方＋X2平方＋＋Xn平方）/n 的平方根。 在这里的意思就是0.1μm是一个平方根值，该数据经过多次测量的统计数据得到。
RMS表示表面粗糙度的均方根值，单位为nm Ra表示算术平均值，单位为微米 转换公式Ra x 40 = RMS 几个常用的如下: RMS250 = RA6.4 RMS125 = RA3.2 RMS64 = RA1.6 VRMS32 = RA0.8 不好意思，这几天较忙。。。
tommychan88
电子显微镜，原子力显微镜，扫描隧道显微镜.的区别： 一．扫描电镜的特点 和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点： (一) 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。 (二) 样品制备过程简单，不用切成薄片。 (