求助，关于XPS测试膜层漆膜厚度测试方法的问题

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-04-22 22:08 标签： 测试液膜厚度的装置
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求助，关于XPS测试膜层厚度的问题
哪位大侠能提供XPS测试膜层厚度的几个参数，比如初始光电子强度，平均逸出深度？？
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863检测：华南地区唯一一家测试XPS的第三方检测机构
发布者：深圳市材料表面分析检测中心&&&&
发布时间：&&&& 浏览量:439次
& & & &深圳市材料表面分析检测中心（863检测）是深圳市政府于2004年投资建立的公共技术服务平台，是中国第三方检测与验证机构，具有中国合格评定国家认可委员会CNAS认可及计量认证CMA资质，作为华南地区唯一一家能够检测XPS的第三方检测机构，自然有着当仁不让的优势。
1. X射线光电子能谱技术
X射线光电子能谱技术（X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS）是一种表面分析方法， 使用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来，被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量和数量，从而获得待测物组成。
XPS主要应用是测定电子的结合能来鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在光电子来自表面10nm以内，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层、矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、润滑、催化、包覆、氧化等过程的研究。
2. X射线光电子能谱分析（XPS）可为客户解决的产品质量问题
（1）当产品表面存在微小的异物，而常规的成分测试方法无法准确对异物进行定性定量分析，可选择XPS进行分析，XPS能分析≥30μm直径的异物成分以及元素价态，从而确定异物的化学态，对失效机理研究提供准确的数据。
（2）当产品表面膜层太薄，无法使用常规测试进行厚度测量，可选择XPS进行分析，利用XPS的深度溅射功能测试≥20nm膜厚厚度。
（3）当产品表面有多层薄膜，需测量各层膜厚及成分，利用D-SIMS能准确测定各层薄膜厚度及组成成分。
（4）当产品的表面存在同种元素多种价态的物质，常规测试方法不能区分元素各种价态所含的比例，可考虑XPS价态分析，分析出元素各种价态所含的比例。
3. X射线光电子能谱分析（XPS）注意事项
（1）样品最大规格尺寸为3×3×1cm，当样品尺寸过大需切割取样，粉末样品最好由客户选择对样品无污染的衬底制样。
（2）取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后使用真空包装或其他能隔离外界环境的包装， 避免外来污染影响分析结果。
（3）XPS元素分析范围Li-U，检出限0.1%。
4.应用实例
& & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & & （手镯发黑异物分析）
官方网址：www.szsac.com
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来源：　　作者：郑大方,佟富强,张伟,葛昕,陈旭
Fe/Cu巨磁阻多层薄膜的XPS研究　 利用磁控溅射方法在Si衬底上制备了Cu/Fe多层薄膜,采用XPS方法及Ar离子对薄膜样品进行刻蚀.研究表明,在多层薄膜的溅射界面存在合金,并观测到溅射层向基体扩散的现象.(本文共计3页)　　　　　　　　　　
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基本一样的。我国的排放标准就是参照欧洲排放标准制定的，区别不大。
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