做oled真空镀膜蒸镀,想转行,可以去什么行业?

原标题:oled真空镀膜风起哪些领域将暴涨?(附企业名单)

柔性是oled真空镀膜的杀手锏可卷曲是oled真空镀膜 的终极形态。

与LCD 相比oled真空镀膜 的杀手锏为柔性,LCD 的液晶形态决萣了其做成柔性的可能性很小而柔性又是可穿戴设备、VR等新兴显示的关键需求,并且柔性还可带来显示方式革命性的变化

所以oled真空镀膜 取代LCD 已是大势所趋,而oled真空镀膜 显示也将沿着曲面→可折叠→可卷曲的方向前进

与LCD相比,oled真空镀膜具有众多优点但也有寿命短、成夲高等缺点,但我们认为oled真空镀膜的柔性和广视角特征将使它更能适应未来多应用场景的需求。

一个重要的领域为未来可能大爆发的虚擬现实(VR)行业三星已向Facebook旗下厂商Oculus提供oled真空镀膜显示屏,这是对oled真空镀膜显示屏强有力的认可

据悉,很多VR头盔制造商(包括Oculus公司、HTC、索尼等)都采用低余晖oled真空镀膜屏而不是LCD屏。

另一个有可能引起oled真空镀膜行业大发展的是智能手机使用oled真空镀膜可使智能手机做的更薄、更轻、可折叠,目前三星、诺基亚、HTC、华为、OPPO均有采用oled真空镀膜显示屏的手机

市场一直有传闻苹果手机可能会使用oled真空镀膜显示屏,我们认为随着oled真空镀膜良率的提高其成本不断下降,而柔性、省电、对比度高、视角广的优势极有可能让苹果公司采用oled真空镀膜显示屏作为新的卖点

同时,柔性显示将会带来显示形态的革命柔性显示大大拓展了显示的空间形态,有望创造出巨大的新增需求

例如oled真涳镀膜柔性显示可以用于飞机内部,形成透明飞机的效果在旅游领域前景广阔;三星也曾推出柔性手机概念,柔性手机从外表上看就是┅只笔需要时拉出屏幕就是手机。

未来随着显示屏实现柔性,人们可以发挥想象空间创造出更多的显示应用。

当前oled真空镀膜柔性显礻的初级形态为曲面即屏幕保持固定的曲面角度,屏幕表面一般采用3D玻璃盖板曲面屏已经初步显示了oled真空镀膜柔性的威力,为手机屏幕的外观的创新提供了良好基础

下一步,oled真空镀膜面板可做成可折叠的形式这样会使现有手机的屏幕面积翻倍,这就需要将折叠部分嘚盖板和基板材料变为可折叠的

最终,oled真空镀膜可做成可卷曲的形式像纸一样,可卷曲的特性将会大大拓展oled真空镀膜屏的应用场景咜将是oled真空镀膜显示发展的最终形态。

膜材料行业是实现柔性的关键将有大机遇

整个oled真空镀膜产业可以分为上中下游三个生产阶段,上遊为设备制造、材料制造与零件组装中游为oled真空镀膜面板制造、面板组装、模组组装,下游为显示终端及其他应用领域并且包含一些汾支产业例如销售端和研发端。

oled真空镀膜的快速发展将带动整个oled真空镀膜产业链的快速扩张包括制造设备、材料、组装等产业链都将孕育巨大的机遇。大部分oled真空镀膜材料与LCD无法通用所以oled真空镀膜上游材料领域的市场机遇更大。

传统oled真空镀膜封装中一般采用玻璃基板囷玻璃盖板,由于玻璃难以弯曲传统oled真空镀膜显示屏无法实现折叠和可卷曲的功能。

如果要实现柔性的oled真空镀膜 显示基板和盖板均需偠更换为柔性材料(一般为聚合物),所以柔性聚合物膜材料是oled真空镀膜显示面板实现柔性的关键

薄膜及对应的基材和靶材最受益

由于oled嫃空镀膜有机材料对水和氧气敏感,遇水或遇氧容易发生反应而失效所以oled真空镀膜封装材料需要具有良好的阻隔性能,尤其是基板和封裝盖板的阻隔性能要更好

目前基板和盖板对水、氧的阻隔可以通过在柔性基板表面沉积多层堆叠结构的无机薄膜来实现,也可以通过粘貼阻隔膜来实现阻隔膜一般都是以塑料为基材,在其上通过磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将无机氧化物沉積在衬底上形成水汽阻隔膜

与LCD显示相比,柔性的阻隔膜或阻隔材料是纯增量受益最大。

聚酰亚胺(PI)材料有望崛起

柔性基板可以为塑料、聚酯薄膜或胶片,由于需要在柔性基板上溅射上电极或TFT(根据发射方式不同而有所区别)材料所以基材一般为耐高温的聚合物,現在使用最多的基材为耐高温聚酰亚胺(PI)材料

靶材企业占据有利地位,靶材需求量有望提升

未来柔性oled真空镀膜对薄膜的使用量会大幅增加,由于薄膜都会面临改性的问题例如需要提高阻隔性能、耐磨性能、透光度等,这些改性多是通过磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法的方法实现相应的靶材需求量就会大幅增加。

由于oled真空镀膜有机材料对水和氧气敏感遇水或遇氧容易发苼反应而失效,所以oled真空镀膜封装材料需要具有良好的阻隔性能尤其是基板和封装盖板的阻隔性能要更好。目前基板和盖板对水、氧的阻隔可以通过在柔性基板表面沉积多层堆叠结构的无机薄膜来实现也可以通过粘贴阻隔膜来实现。阻隔膜一般都是以塑料为基材在其仩通过磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将无机氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。与LCD显示相比柔性的阻隔膜或阻隔材料是纯增量,受益最大

国内从事显示膜业务的上市公司中,做触控上面ITO导电膜的企业较多但真正做封装阻隔膜的企业非常尐,目前有一些企业正在进行送样测试封装阻隔膜暂时还处于爆发的前夕,但未来封装材料柔性化是大势所趋封装阻隔膜后续增长空間巨大。

如下为与oled真空镀膜显示膜相关的上市公司——

从事环保包装材料、高精度铝箔、功能性薄膜三大业务是国内包装材料行业中具囿领先优势的龙头企业。

导电膜生产项目是公司经营结构全面升级的重要战略部署公司于2012年正式成立光电薄膜分公司,全力打造国内最夶导电膜生产基地大力推进公司在功能性薄膜领域的发展,公司生产的ITO导电膜已正式通过联想、酷派等品牌的认证应用于手机、平板電脑等产品。

2015年度导电膜销售收入1.14亿元根据公司介绍,公司用在oled真空镀膜封装领域的高阻隔膜产品目前处于客户送样阶段送样客户系oled嫃空镀膜制造厂商。

从事高分子复合膜材料的研发、生产和销售是全球预涂膜产业的领导企业、中国光学膜的龙头企业。

康得新现已发展成为拥有预涂膜、光学膜两大产业群北京、张家港、泗水、杭州、南通五大生产基地,十二家子公司的国际化企业集团

公司拥有水汽阻隔膜专利,已经在柔性显示领域取得突破性进展最新研发的水汽阻隔膜产品可达玻璃级封装标准,目前正在与oled真空镀膜显示器厂家匼作

专业从事挠性电路与材料的研发和生产,主要产品包括柔性FCCL、高密度FPC、芯片封装COF基板、芯片及器件封装产品及柔性封装相关功能热凅化胶、微粘性胶膜等公司正进行PI膜客户验证,且公司将采用高分子烧结法制备碳化膜

主要从事防静电/洁净室产品研发、生产、销售,净化工程设计、施工及维护和超净清洗服务是中国实验室系统工程综合解决方案提供商与行业领导者。公司近年来向电子功能材料、高性能纤维材料等新材料领域拓展

主要产品包括高净化胶带、光学胶带、高净化保护、石墨散热片等,公司与日本东山公司进行技术合莋研发用COP膜来代替TAC膜以满足oled真空镀膜的显示技术升级需要。

我国最大的电容器专用电子薄膜制造企业之一中国高端电容器薄膜主导供應商和中国产品系列最全的电容器薄膜生产商,公司主导产品电容器用聚丙烯电子薄膜拥有两大类、七个品种公司光学膜产能6000万平方米,其中增亮膜2000万平方米增亮膜主要供应LG。

公司主要从事新型绝缘材料和功能高分子材料及精细化工材料的研发、制造和销售重点发展噺型绝缘材料、光学膜材料和环保阻燃材料,产品广泛应用于新能源、特高压、智能电网、消费电子、平板显示、电工电器、军工等领域

公司开发的AB胶是一种结合钢化玻璃使用的手机外屏保护膜,由子公司金张科技负责生产业绩增速较快。

主营各类包装薄膜及复合包装材料、功能性高分子新材料等系列产品

是国内大型包装新材料生产企业之一,产品畅销全国三十多个省、市、自治区并出口到中东、歐美、东南亚、香港、台湾等二十多个国家和地区,地区技术水平居全国领先地位。

公司光学膜一期产能1亿平方米预计将于今年上半姩建成投产。

主要从事新能源、新材料、节能环保产业的研发制造现已逐步形成以渗析材料、电工材料、光学材料和阻隔材料四大系列產品为框架的产业布局。

公司近期研发的晶硅太阳能电池用PVDF膜背板项目、复合智能节能薄膜项目等标志着公司向新能源、新材料产业高端发展迈向新的台阶。

目前公司的控股子公司纬达公司已掌握oled真空镀膜用偏光膜的相关技术该产品仍处于研发当中,部分oled真空镀膜用偏咣膜已送至客户试样

主要从事ITO导电膜玻璃、在线复合镀膜玻璃、浮法玻璃、玻璃深加工制品及新型材料的开发研究、生产、销售,信息咨询等的经营

子公司华益有13条ITO导电膜生产线,国内规模前列共有80万平的混合镀膜,预计年产4000万片ITO导电膜主要应用于触控屏。

聚酰亚胺(PI)材料有望崛起

柔性基板可以为塑料、聚酯薄膜或胶片由于需要在柔性基板上溅射上电极或TFT(根据发射方式不同而有所区别)材料,所以基材一般为耐高温的聚合物现在使用最多的基材为耐高温聚酰亚胺(PI材料)。

聚酰亚胺英文名称为Polyimide,顾又称为PI材料其分子结構为含有酰亚氨基官能团(─C(O)─N─C(O)─)的芳杂环高分子化合物。

聚酰亚胺按物化性质可大致分为四类:

3)聚酰胺-酰亚胺(PAI)

4)聚醚亚胺(PEI)。

聚酰亚胺在工程塑料中属于性能最优越的品种之一

PI材料具有以下优良性能:

1)热稳定性强,长期-269℃-280℃间不产生形变;

2)高强度高韧性一些品种可与碳纤维比肩;

一般聚酰亚胺可以被制成五类产品:

聚酰亚胺的制造工艺流程也较复杂,重要参数在全球范围內只有少数企业中的少数人员掌握保密性极强。工业上制造聚酰亚胺薄膜使用的材料为均苯四甲酸二酐和二胺基二苯醚在极强性溶剂二甲基乙酰胺中经缩聚并流延展成膜再经亚胺化而成。

其中透明柔性薄膜可替代玻璃作为新一代oled真空镀膜照明/显示的柔性衬底

全球对电孓级PI薄膜的需求在稳步增长,2006年~2015年消费量的年均增速约为6%中国对薄膜的需求增长则更加迅猛,2006年~2015年消费量的年均增速达到了18%由于技术要求较高,我国目前使用的电子级薄膜80%依赖进口

丹邦科技和深圳惠程具有相关技术

公司2013年10月定向增发募集资金投入“微电子级高性能聚酰亚胺研发与产业化”项目,主要用于研发与生产微电子级高性能聚酰亚胺薄膜(PI膜)项目建设周期约24个月,建设完成后第一年、苐二年的产能利用率分别为60%、80%第三年完全达产。

全面达产后将年产PI膜300吨预计每年新增营业收入3.1亿元,新增利润1.5亿元该项目研发的PI膜朂小厚度可达9微米,2016年2月连续48小时投料试生产成功公司此前PI膜全部依赖外部采购。

主营业务为电气业务和投资业务深圳惠程曾致力于聚酰亚胺纤维、纳米纤维、薄膜、树脂及复合材料的综合研究开发及相关材料购销,但由于亏损严重目前已将大部分聚酰亚胺业务剥离。

未来柔性oled真空镀膜对薄膜的使用量会大幅增加由于薄膜都会面临改性的问题,例如需要提高阻隔性能、耐磨性能、透光度、导电性能等这些改性多是通过磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法的方法实现,相应的靶材需求量就会大幅增加

溅射靶材是物理气相沉积技术(PVD)制备电子薄膜材料的主要原材料,其主要由靶坯、背板等部分构成

其中,靶坯是制备过程中高速离子流轰击嘚目标材料其表面原子被轰击后飞散出来沉积形成薄膜材料;而背板具有良好的导电、导热性能,主要起在轰击过程中固定溅射靶材的莋用

溅射材料种类较多,按形状可分为长靶、方靶、圆靶;按化学成份可分为金属靶材(纯纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍鉻合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)

其应用领域广泛,不同应用领域对溅射靶材的材料选擇和性能要求存在一定差异具体情况如下:

溅射靶材行业属于电子材料领域,上游产业是有色金属的开采加工业下游是电子薄膜材料淛造业,终端产品应用于计算机、电视等电子设备终端

溅射靶材在我国还属于较新的行业,但下游溅射镀膜和终端应用已经发展得较为荿熟高纯度金属以及溅射靶材等关键原材料主要依靠进口供给。

因此亟需将产业链向上游扩展,加大研发投入大力发展高纯金属提純和溅射靶材制造业务,形成相对完整的产业链条

20世纪90年代以来,随着下游消费电子等终端应用市场的飞速发展溅射靶材市场规模日益扩大,呈现高速增长势头

据统计,2014年世界高纯溅射靶材市场年销售额约87.5亿美元据预测,未来5年世界溅射靶材的市场规模将超过160亿媄元,市场规模年复合增长率可达到13%

国内企业主要为有研新材和隆华节能

溅射靶材是半导体、液晶显示、太阳能光伏等各应用行业的上遊材料,溅射靶材的品质要求高、行业认证壁垒高行业集中度也很高。

同时溅射靶材行业市场化程度很高,竞争较为激烈长期以来,溅射靶材主要被日本、美国的国际化企业所垄断。

近年来国内少数企业加大技术研发投入,经过数年的科技攻关和产业化应用已逐渐突破关键技术门槛,拥有了部分产品的规模化生产能力这些企业正在经历快速发展时期,上升势头较快

关键材料为蒸镀的有机材料

oled真空镀膜 是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。它是用表面粗糙度小的高质量玻璃作为基板用铟锡氧化物(ITO)导电玻璃作为陽极,在阳极上制作一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层发光层上方再用一层低功函数金属覆盖作为阴极。

当两电极上加有电压时阳极提供空穴,阴极提供电子空穴和电子在发光层的有机物中复合,就可以释放能量产生光辐射。

为增强电子和空穴的注入和传输能力通常又在阳极和发光层间增加一层空穴注入层和空穴传输层,和在发光层与阴极之间增加一层电子注入层和电子传输层以提高发咣效率。

而在材料的使用上会适量加入Dopant来调节所需的能阶状态。

蒸镀上的有机发光层材料和传输层材料为oled真空镀膜的关键材料这些材料对oled真空镀膜的发光性能具有决定性作用,且占成本的主要部分

● 阴极:理想的阴极是以低功函数金属作为注入层,以具有较高功函数嘚稳定金属作为钝化层

● 阳极:与阴极不同,通电后阳极释放的是带正电的空穴空穴传输层的作用就是帮助带正电的空穴移动至有机發光层。阳极是由ITO 导电玻璃制成的其表面电阻较低。

● 电子传输层:采用荧光染料化合物要求必须热稳定和表面稳定,有机金属络合粅具有足够的热稳定性

● 空穴输运材料:属于一类芳香胺化合物。要求热稳定性要好大多数采用的是多苯基芳胺类有机化合物(俗称TPD),最稳定的器件采用NPB

● 有机发光层:有两种: 一种是以有机染料和颜料等为发光材料的小分子基oled真空镀膜,另一种是以共轭高分子为发咣材料的高分子基oled真空镀膜简称为PLED。它们的差异主要表现在器件的制备工艺不同:小分子器件主要采用真空热蒸发工艺高分子器件则采鼡旋转涂覆或喷墨工艺。

我国材料企业主要参与oled真空镀膜材料中间体和单体粗品的供应

从产业链的角度看我国相关的材料主要供应oled真空鍍膜材料的中间体和单体粗品,主要销往欧、美、日、韩等地的企业这些企业进一步合成或升华成单体,而面板的生产企业将多种单体蒸镀到基板上面形成oled真空镀膜材料层。

由于oled真空镀膜涉及的各种单体的专利权大多数已经被国外的企业控制且面板生产企业主要为三煋、LG和JDI,所以国内的企业要直接提供单体产品面临着较高的专利门槛和应用壁垒

全球oled真空镀膜有机材料中间体市场份额约为25亿元

根据行業数据,oled真空镀膜有机材料约占oled真空镀膜市场规模的13%左右2015年oled真空镀膜终端有机材料的市场份额约为39亿美元,对应的中间体市场份额约为4億美元接近25亿元,2020年oled真空镀膜有机材料中间体的市场规模有望增长至60亿元

我国oled真空镀膜中间体材料行业竞争格局较好

在成本压力下,國际的oled真空镀膜材料企业一般都把部分oled真空镀膜中间体或单体粗品的生产外包出去中国是全球主要的oled真空镀膜中间体和单体粗品的生产企业,由于oled真空镀膜产品一般为订单式生产所以oled真空镀膜材料行业最关键的能力为产品质量控制能力和研发快速响应能力。

从国内企业來看万润股份和西安瑞联技术实力最为雄厚,质量控制较好吉林奥来德对单体的升华能力较强,而北京阿格蕾雅研发实力较强

这四镓企业可以归为oled真空镀膜中间体材料领域的第一梯队,其他与生产oled真空镀膜相关材料的企业也很多但大部分难以真正进入主流的供应商體系。目前行业的竞争格局较好竞争较弱,行业维持较高的盈利水平一般的毛利率都在50%以上

未来随着oled真空镀膜面板生产规模的快速增长oled真空镀膜中间体(含单体粗品)行业仍有望保持在较高的盈利水平。

我们认为目前的龙头企业有望跟随整个产业链的崛起而不断发展壮大万润股份、西安瑞联、吉林奥来德、北京阿格蕾雅等有望跟随产业链加速成长,并有跟随国内企业实现弯道超车的机会

中节能旗下公司,涉及oled真空镀膜业务的为三月光电和九目公司三月光电成立于2013年,专注于oled真空镀膜显示和照明材料、器件的研发、生产和销售

截至2015年年底,万润股份控股82.96%2015年的销售收入为2373万元,净利润为24万元

烟台九目化学制品有限公司为万润股份有限公司的全资子公司,是┅家从事液晶中间体、oled真空镀膜中间体、OPC材料及其他化学品的开发与生产的高新技术企业

建有一个科研办公综合楼、两个合成车间和一個中试车间,设备从100升到8000升共计100余台总产能30万升,公司现有员工340人

西安瑞联新材料股份有限公司

西安瑞联新材料股份有限公司位于西安市高新技术开发区是由卓世投资、上海国富、东方富海、上海支点等知名投资机构及公司中、高级管理人员共同持股的集研发、生产、貿易为一体的科技主导型高科技公司。

公司的经营范围为液晶材料、有机电致发光材料、医药中间体等精细化学品公司已开发出新产品1800餘种,其中100余种出口国外

公司现有科研人员近300人,其中博士3名硕士60名,本科及以上学历占75%

位于西安高新区的陕西省技术中心现拥有50餘间国际标准配置实验室,装配有LC-MS、GC-MS、FT-IR等先进分析仪器100余套具备国际先进升华、真空蒸镀设备的oled真空镀膜实验中心,配备2000多平米百级超淨室和oled真空镀膜产品中试线

公司有3个生产基地和2个分厂,共建成投产30余条生产线

吉林奥来德光电材料股份有限公司

成立于2005年6月,位于長春高新技术产业开发区光电产业园内是一家专业从事有机电致发光材料(oled真空镀膜材料)的研发、生产、销售和服务的高新技术企业。

吉林奥来德是首家国家立项支持的有机发光材料产业化基地是“中国oled真空镀膜产业联盟”的发起单位及理事单位。

现有产品包括空穴紸入材料、空穴传输材料、发光层材料(荧光体系、磷光体系)、电子传输材料四大类近百余种另有oled真空镀膜中间体几十种。

北京阿格蕾雅科技发展有限公司

北京阿格蕾雅科技发展有限公司成立于2005年4月是由留学归国人员在北京市留学人员海淀创业园创办的一家高新科技企业。

阿格蕾雅科技主要致力于光/电新材料领域及相关工艺的技术创新和开发公司专注于新型有机发光材料(oled真空镀膜)的研发及应用。公司已研发出并具有量产能力的oled真空镀膜材料达40种以上

吉大瑞博光电科技有限公司

吉林吉大瑞博光电科技有限公司成立于2013年7月,注册資金2000万是一家由吉林大学控股公司与民营企业合资组建的高新科技企业。

公司专注于有机电致发光(oled真空镀膜)产业线材料、oled真空镀膜洎主研发材料及新型oled真空镀膜中间体的研发、规模化生产及销售

瑞博现有oled真空镀膜材料产品体系包含空穴注入材料、空穴传输材料、掺雜发光材料及配套的主体材料、电子传输材料、电子注入材料等五个类别,百十余种常规及专利材料

中间体产品包含oled真空镀膜材料中间體体系、OPC材料中间体体系、OTFT材料中间体体系及其它相关电子材料中间体。oled真空镀膜材料中间体包含苯硼酸衍生物系列、咔唑系列、苯胺衍苼物系列、蒽衍生物系列、芴衍生物系列等

生产能力:公司生产基地一期建成后将拥有两个有机电致发光材料量产合成车间,并配备200-2000立升不同规格、不同反应条件的合成设备及相关配套设备适合各类有机电致发光材料的批量合成。

为满足有机电子材料高纯度的质量要求瑞博公司生产基地将一期建立两座洁净真空升华提纯车间,其内部将配备0.2-5.0公斤级有机材料真空升华提纯设备可以实现高纯度有机电致發光材料的制备,其产品质量满足oled真空镀膜平板显示生产线的要求

生产基地一期建成后,高纯有机电致发光材料产品的生产能力将达到公斤

西安彩晶光电科技股份有限公司

公司于2008年10月成立,位于西安市高新技术产业开发区注册资金9000万元,2011年规划投资6.2亿元在西安经济技術开发区兴建占地330亩年产液晶中间体及单体、医药中间体100吨的产业基地。

公司专注于液晶显示材料、有机电致发光材料、电子化学品和楿关的精细化学品的研发、生产和销售发光材料主要生产α-NPB,TPDAlq3,TPA等

西安宝莱特光电科技有限公司

由国家“千人计划”专家赵炜博士發起创立于2007年,注册资本5000万元公司以推动有机发光二极管技术产业化为目标。

与oled真空镀膜的有机小分子使用蒸镀法不同p-oled真空镀膜的有機聚合物采用溶液法,生产成本存在巨大优势所以公司(中心)专注于p-oled真空镀膜技术产业化开发。

公司(中心)自成立以来依托自有知识产权独立设计监造了国际一流p-oled真空镀膜中试线设备,自主研发多种聚合物光电材料和开发多款显示和照明样机公司生产的关于oled真空鍍膜材料中,主要生产电子与空穴传输材料

oled真空镀膜终端材料企业:专利与渠道的比拼

oled真空镀膜厂商(如三星、LG)积极扶植本国OLCD材料厂商,以确保自己的供应稳定同时推进了oled真空镀膜产业链的发展。

日本是一个重要的oled真空镀膜材料供应商国家

住友化学和昭和电工生产嘚聚合物为基础的oled真空镀膜,出光兴产和三井化学主要在小分子营地出光兴产不仅和友达、LG合作,还有索尼和松下它提供了oled真空镀膜媔板生产原料,拥有超过2000项oled真空镀膜方面的专利技术

据调查日本在这方面的申请全球排名第一。日本的oled真空镀膜材料供应商纷纷以出口oled嫃空镀膜材料作为主要方向也积极与韩国、欧美、台湾和中国大陆的企业合作,合作方式也很多样化自主建厂或者技术合作都有展开,方式灵活

欧美以默克化工、柯达、UDC、康宁为代表的行业巨头早已涉足oled真空镀膜产业,并在oled真空镀膜产业上游材料方面研究多年拥有叻众多专利,形成了oled真空镀膜专利网以阻击其他国家的介入。

欧美大分子阵营的oled真空镀膜厂商以加速PLED的商业化为主要工作而以柯达公司为首的小分子阵营积极地与日韩企业合作发挥自己的技术优势。

真空蒸镀:真空中通过电流加热电子束轰击加热和激光加热等方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子它们随即以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结形成薄膜。所以要求镀膜室里残余分子的自由程大于蒸发源到基片的距离保证镀膜的纯净和牢固。

真空测量工具:测量真空的装置称为真空規常用的热偶真空规和电离真空规。热偶真空规可以测量0.1~10Pa的压强利用低压下气体的热传导与压强成正比的原理;电离真空规利用电孓与气体分子碰撞产生电离电流随压强变化的原理制成,可测量范围是10-1~10-6Pa注意,电离真空规必须在0.1Pa以下使用否则会损坏装置。

真涳膜层检测系统:石英芯片微量天平系统(QCM)其工作原理为蒸镀过程中随着材料的蒸发,石英芯片质量增加从而改变石英芯片的固有振荡周期,将石英振荡器组装到振荡回路中使薄膜质量的变化作为频率的变化读出

功能:实现有机膜层的蒸镀和无机膜层的蒸镀。

工作原理:利用电阻产生热能将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在基片表面析出的过程oled真空镀膜蒸镀分为有机材料蒸镀和無机蒸镀,有机材料蒸镀:在高真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发源加热蒸发源蒸镀有机材料,并利用石英晶体振荡器来控制膜厚ITO玻璃基板放置在样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案;无机蒸镀:在有机材料薄膜蒸镀完成后进行蒸镀用于金属电極蒸镀的源通常采用钼、钽和钨等材料制作,以便用于不同的金属电极蒸镀(主要是防止舟金属与蒸镀金属发生化学反应)

从如下两方面——蒸镀系统和其系统功能的描述对蒸镀设备系统进行简要概括。

蒸镀系统结构包括:操作接口、Infeed Load/Lock传输腔体、Plasma真空腔体、有机蒸镀真空腔体、金属蒸镀真空腔体、材料蒸镀控制柜、手套箱、气体循环系统

控制软件的各操作接口与设备各组成部分一一对应,以控制设备的相应氣阀及机动操作

Infeed Load/Lock传输腔体包括两个锁紧阀门、可移动的传送板、具有加热器的温度监测表、真空表、机械泵抽气阀门和N2充入阀门等。

Plasma真涳腔体包括调节挡板(shutter)、机械泵阀门(valve)、分子泵、观察窗、Plasma电源、Ar、O2、CFX进气管道、真空度监测系统、电极板、托盘(两电极板之间)囷N2充入阀门等

有机蒸镀腔体包括传送装置、蒸镀腔体、托盘、传送箱与真空腔体之间的阀门(valve)、转盘机械手臂、大挡板(main shutter)、小挡板(source shutter)、有機材料坩锅、加热源、晶振片、厚度检测系统、机械泵、冷泵(低温泵)、维修口、观察窗、PLC电机、N2

充入阀门、粗真空表、高真空表等。

金属蒸镀炉包括传送装置、蒸镀腔体、托盘、传送箱与真空炉之间的阀门(valve)、转盘机械手臂﹑大挡板(main shutter)、小挡板(source shutter)、LiF坩锅、Al坩锅、加

在国家重点研发计划“战略性先進电子材料”重点专项项目“高效大面积oled真空镀膜照明器件制备的关键技术及生产示范”的实施过程中江苏省产业技术研究院有机光电技术研究所联合苏州方昇光电股份有限公司、苏州大学李述汤院士团队,历经三年的团结协作从设计、加工、组装到调试,成功打造了國内首条自主设计的oled真空镀膜照明G2.5代量产线!

mm基板上根据需要制备多种类型的oled真空镀膜照明器件。产线中自主设计的线性蒸镀源和全自動控制系统可满足蒸镀均匀性为97%、生产节拍时间为120秒的技术要求,预计年产能力为22万片截至2019年9月23日,该条蒸镀线已实现红光、绿光、藍光和白光oled真空镀膜照明面板的制造并成功点亮发光面板各项性能达到项目预期结果。团队将对设备的稳定性做进一步优化使装备整體性能不低于国外同类产线。预计明年上半年该产线可进行小批量出货 

项目的成功,离不开团队的艰苦奋斗离不开国家科技部、江苏渻产业技术研究院、苏州大学、苏州市吴江区人民政府的大力支持。此次在自主设计和制造的生产线上成功制造和点亮oled真空镀膜照明面板证明中国已具备开发和制造中小尺寸oled真空镀膜生产线的能力、具备突破oled真空镀膜“卡脖子”技术的能力。这为我国实现高世代大面积真涳蒸镀设备国产化迈出了重要的第一步

 江苏省产业技术研究院有机光电技术研究所(以下简称有机光电所),成立于2016年8月坐落于风景秀丽的江苏省苏州市吴江汾湖高新技术产业开发区,占地200余亩拥有1200多平专业检测平台、3万多平方米研发及办公场地。有机光电所将研发視为产业技术视为商品,重点围绕“oled真空镀膜照明、硅基oled真空镀膜微显示器、oled真空镀膜蒸镀线”开展有机光电关键技术的应用开发和集荿创新力求建立一个集真空装备研制、有机材料合成、光电器件制备和检测仪器开发为一体、服务长三角区域一体化发展的协同创新有機光电产业集群。

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