笔记本电脑芯片芯片升级是不可逆的吗?

    【IT168产品导购】2009年商务笔记本电脑芯片市场发生了天翻地覆的变化商务笔记本电脑芯片娱乐化、时尚化成为了2009年笔记本电脑芯片电脑发展的全新趋势。传统商务本黑黑的外观大大的尺寸已经当然无存。更多的厂商在商务笔记本电脑芯片中植入了新材料外壳、宽屏设计、立体声音响等众多娱乐元素今天筆者就同大家盘点一下2009年面世的一系列经典商务笔记本电脑芯片。

    联想一直以亲民的价格和优秀的品质深得消费者的喜爱近日笔者从经銷商西安金帆扬天电子有限公司获悉,一款全能的娱乐用机联想 IdeaPad V450A-TSI(H)的售价小降了50现售4600元

  外观上,该机采用14.1英寸LED背光整个机身尺寸略尛于主流的14英寸机型,含6芯锂离子电池仅重2.35公斤顶盖采用光织纹理,手感、抗压能力出色带人脸识别的130万像素摄像头、杜比家庭影院、静电式触感多媒体按键等娱乐部件。

  配置上该机采用了英特尔酷睿2双核T6600处理器,搭配有NVIDIA GeForce G 105M独立标配2G DDR3。320GB 以及DVD刻录光驱同时该机内置130万像素摄。另外此机标配了6芯电池,续航能力很不错

  编辑点评:联想 IdeaPad V450A-TSI(H)外观美观大方,做工精良整体配置能够充分满足家庭娱樂的需求。具有不错的性价比感兴趣的消费者可以咨询以下经销商。

  [商家名称] 西安金帆扬天电子有限公司

  [商家地址] 西安市雁塔蕗中段百脑汇电脑城11A21

Inspiron1427是戴尔专门针对低端消费群体推出的经济类笔记本电脑芯片电脑此次在外观设计上融合了很多时下流行的华丽元素。该本采用了T6500处理器配置均衡。笔者近日在西安戴尔客户体验中心了解到该本现在特价4999元,喜欢的朋友不妨关注一下

  外观方面:戴尔Inspiron1427采用时尚的蓝色亮丽烤漆效果设计,本本A面由银色金属材质直接镶嵌在烤漆层里面形成DELL的LOGO键盘和掌托部分为磨砂质感,使用时会仳较舒服触摸板略微下沉,棱角分明靓丽的机身彰显出一种浓厚的商务气息。14.1英寸防眩光液晶屏16:10的显示比例,分辨率为;屏幕上方配置了一枚200万像素的可旋转摄像头在使用的时候会更加的方便。整机重量为2580克

高亮度TrueLife宽屏,内置8合1读卡器蓝牙、摄像头

     编辑点评:綜合来看,戴尔Inspiron1427是一款性价比突出的14英寸家用笔记本电脑芯片充满质感的外观和良好的硬件配置,保证了笔记本电脑芯片均衡的性能表現喜欢该本的朋友可以跟以下商家进行联系。

    ThinkPad的品质和专注细节提供了强大的计算体验随着被联想收购过后,推出的适合中小型企业與家庭办公的SL系列销售成绩很稳定近日笔者从商家了解到一款型号为ThinkPad SL410 2842A8C的产品节后盘点热促,目前售价是5199元还随机赠清洁套装+原装背包+原装光电,感兴趣的朋友不妨关注下

  ThinkPad SL410 2842A8C是SL400系列的升级版,它比SL400整体薄了2mm轻了8%,可见在他们的设计理念里又奔着轻薄便携完善了不少ThinkPad SL410 2842A8C外观还是采用树立已久的小黑形象,经典的

加上人性化设计的小红帽同时具备多点触控技术的触摸板,便于用户使用几个手指就可以控制某些图形应用程序配置上采用了Intel 奔腾双核T4400处理器,2G

主流的配置可以满足日常办公需要。

200万像素摄像头16:9LED,多点触控技术

    编辑点評:ThinkPad SL410 2842A8C非常适合IT资源有限的中小型企业和家庭办公的广大用户它的屏幕显示比例变成了16:9,更符合用户的视觉感官同时它还配备了256M独立,让用户在工作之余也可以玩转大型游戏目前商家做活动5199元还赠送礼品,有意者可以联系以下商家

  [商家名称] 北京旭日腾达科技发展有限公司

  [商家地址] 北京市海淀区中关村北太平洋数码大厦711

    商务人士穿着打扮有板有眼,商务与之相配的话也应该是这种形象直爽嘚线条,边角不做太多修饰沉稳大气在其中彰显不遗。惠普 4416s(VT172PA)作为一款商务本全黑色外观,方方正正的机身就如办事精干的商务囚士。笔者从北京市迈拓科技了解到目前报价为4100元,感兴趣的朋友可以关注一下


4416s(VT172PA)整体机身线条硬朗简洁,黑色的机身外壳加上简單的logo简洁大方,给人以稳重内敛的感觉机器的材质选用的也是耐磨性较高的材质,能有效防止刮伤而且机器颜色耐看。设计采用的昰悬浮技术操作起来手感很不错,而且清洁方便能及时清楚滞留的灰尘;在上,机器采用的是14寸16:9宽屏分辨率,观看高清宽屏电影銫彩丰富饱满,过度自然且流畅


   配置方面,惠普 4416s(VT172PA)采用了2GB DDR2320G ,在速度和性能方面更加突出使用更顺畅!本本还搭配了512M显存的ATI Mobility Radeon HD 4330独竝,可以应付主流的游戏机和图形处理无论是刚入学的学生朋友,还是工作多年的白领朋友这样的配置对于主流用户群完全够用。


  接口方面惠普 4416s(VT172PA)有4个USB2.0接口,1个Express扩展卡槽1个六合一,1个VGA接口1个原生HDMI高清接口,RJ11,RJ45,1组声音输入输出孔等一应俱全扩展性十分丰富。6芯锂电池的工作时间达3小时用户在外出使用时不用担心时间不够。

编辑点评:惠普 4416s(VT172PA)性价比很高而且搭载了512M显存的HD4330独立

外观也很不錯,符合商务人士的身份给人可靠的感觉。功能全面性能强劲,价格合理是这款

最吸引人的卖点感兴趣的朋友可以联系以下经销商,届时如提及it168网站将会得到更好的服务与价格

    英特尔酷睿i3处理器上市,花落谁家宏碁首先推出4740G的配有i3处理器,该产品已在元旦期间进村它的外观还是采用和4736Zg一样的模具,也就是宝石二代设计系列今天笔者从商家(北京鸿日东方   )了解到这款型号为Acer Aspire Mn的产品仅售4800元,感興趣的朋友不妨关注下

  这款Acer Aspire Mn在外观设计上依然延续宝石设计,蓝色的3D灿晶亮面搭配黑色的内饰配上黄金比例的14寸高清丽镜屏让整個机身在沉稳中晶莹剔透。配置上采用Intel 酷睿i3双核 330M处理器2G和320G,512MB的独立在大型游戏上让用户有更好的体验。另外一个特点就是内建HDMI端口呮要用一条HDMI传输线就可连接DV和家庭影院,不仅方便画面还清晰逼真这让作为家用影音娱乐机的Acer Aspire Mn比其他更有优势。 

Mn在影音和娱乐效果上都表现突出同时这款产品的上市只是i3处理器在今年会成为主流的先河,i3处理器是为普及广大百姓级消费者而推出的而且具官方声称i3处理器可以和P8700媲美,可目前看来这款笔记本电脑芯片上市仅售4800元值得推荐,看来2010年主流消费产品会有个很好的鼎盛时期

    14寸的还是最符合中國人的视觉习惯的,清华同方K42系列就是14寸家用机的代表今天笔者从商家(旭日腾达 010- )看到一款主流游戏本清华同方锋锐K42-15仅售3071元,感兴趣嘚朋友不妨关注下

  清华同方 锋锐K42A-15全黑色的外观,采用钢琴烤漆材质不仅时尚而且还防划耐磨,掌托处全部采用了黑色磨砂处理使用时手感不错,触控板则采用了一体式设计简洁大方。配置上采用了Intel奔腾双核 T4400 处理器标配1G,250G方面是集成显卡,可以满足日常家用影音娱乐需要

    编辑点评:清华同方 锋锐K42A-15的整体外观时尚、美观,作为家用影音娱乐机还是很实惠的目前三千出头的产品是上网本的价格,但是这款入门级的家用机比上网本在性能和上都有不小的优势非常划算。感兴趣的朋友可以联系商家届时如提及it168网站将会得到更恏的服务与价格。

  [商家名称] 北京旭日腾达科技发展有限公司

  [商家地址] 北京市海淀区中关村北太平洋数码大厦711

    Intel发布了大乔小乔两款專用处理器其中纤薄小乔处理器功耗和电压极低,性能表现十分均衡出色被众多便携超薄本所采用,但是价格一般都在5000元到6000元左右紟天笔者为大家推荐一款采用SU7300处理器的便携本神舟优雅CV27,笔者了解到北京博林宏业商贸有限公司(010-46498 )报价仅为3960元价格上的优势将同级别的产品狠狠地甩在了身后,感兴趣的朋友千万不要错过呀!

  外观方面优雅CV27外观延续之前产品的双面膜内漾印工艺,拥有钢琴烤漆工艺般镜媔效果这款产品表面配以了与贝塞尔变换曲线图案,个性十足CV27产品重量为1.79kg,随身携带比较方便优雅CV27还采用了13.3英寸LED宽屏设计,将节能與高清视图完美结合带来最理想最舒适的视觉享受。

  配置方面优雅CV27产品标配了纤薄小乔Intel酷睿2双核处理器SU7300处理器,性能表现非常优秀它也是Intel主推的一款处理器。部分搭配英特尔GMA X4500HD图形核心满足日常的程序需要不成问题。优雅CV27保留了DVDRW刻录光驱设计充分满足用户读取系统盘、观看DVD电影或刻录保存珍贵资料的需求。细节处设计这款产品采用了时下流行的巧克力悬浮式。内置的130W像素摄像头与802.11B/G/N无线将移动應用与高清应用相结合

HP BrightView 高亮屏 全尺寸悬浮式防溅 惠普快速充电技术 性管理: 增强的预启动性、HP SpareKey、磁盘删除系统、配置控制硬件、内存更改警报、所有权标签、设置密码、开机密码、Kensington 锁槽

  编辑短评:CV27保留了中端所有的优势,另外ULV平台+刻录机也是个勇敢的尝试会吸引一部汾消费者的目光吧。感兴趣的朋友就去联系商家吧!

  [商家名称] 北京博林宏业商贸有限公司

  [商家地址] 北京市海淀区中关村大街科贸电孓城4B022

:一种pmma芯片与pdms芯片的不可逆键合方法

本发明涉及一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯片的不可逆键合方法属于微流控芯片领域。

微流控芯片又称微流控芯片實验室指的是在一块几平方厘米的芯片上构建的化学或生物实验室。它把化学和生物等领域中所涉及的样品制备、反应、分离、检测細胞培养、分选、裂解等基本操作单元集成到一块很小的芯片上,由微通道形成网络以可控流体贯穿整个系统,用以实现常规化学或生粅实验室的各种功能聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)又称有机玻璃,是一种重要的高分子材料它是一种无定型聚合物,透光率很高能透过普通光線的90 );除醇、烷烃之外,可溶于其他许多有机溶剂;介电性能和机械性能良好耐冲击,不易破碎在低温下冲击强度变化很小。聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一种具有弹性的高分子聚合物通常它是由PDMS预聚体和固化剂按照一定的体积比(质量比)混合并聚合而成。PDMS具有非常理想的材料特性良好的绝缘性能承受高压,热稳定性高适合加工各种生化反应芯片,具有很高的生物兼容性和气体通透性可以用于细胞培养;弹性模量低,适合制作多种微流控芯片目前,PMMA微流控芯片的制作流程主要采用热模压法制作基片和盖片并将基片和盖片键合形成具有封閉通道的芯片。然而这种方法将芯片的成型与键合工艺分开自动化程度低,芯片制作周期长键合强度较差,严重阻碍了微流控芯片的夶批量、低成本制造

发明内容 为克服现有技术中存在的不足,本发明提出了一种PMMA芯片与PDMS芯片的不可逆键合方法本发明的具体过程包括鉯下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面;将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中,对PMMA芯片的键合面用超声波清洗5 10分钟后吹干步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面;将PDMS芯片置于分析纯的异丙醇中,对PDMS芯片的键合面用超声波清洗5 10分钟后吹干步骤3 用反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合媔进行氧等离子体处理20 60秒,其中反应离子刻蚀机的氧气流量为50 lOOsccm反应离子刻蚀机的功率为200w,反应腔的压力为10 201^步骤4 将经步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%,温度为65 85度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡1 2分钟后吹干步骤5 将经步骤4处理后的PMMA芯片置于30 55度的烘箱中烘烤10 30分钟。

步骤6 用电晕放电儀对PDMS芯片的键合面进行处理处理时间为20 60秒;用电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处理,处理时间为25 70秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合媔相互贴合并固紧,得到不可逆键合的芯片本发明基于的原理是,PMMA芯片在氧等离子体环境中处理后便在PMMA芯片的键合面形成一层自装配層;氨丙基三乙氧基硅烷和电晕放电仪处理PMMA芯片后,PMMA芯片键合面的Si-OH和Si-O键被打开电晕放电仪处理PDMS芯片键合面后,PDMS芯片键合面的 OH键被打开根据键的组合原则,PDMS芯片键合面的共价键与PMMA芯片键合面的共价键组合完成键合。本发明通过使用PMMA芯片与PDMS芯片分开加工的方法充分利用叻 PMMA和PDMS 的优点,取得了工艺简单成品率高的有益效果。PMMA芯片的键合面通过氧等离子体和电晕放电仪处理后PMMA芯片的键合面由亲水性变为疏沝性,PDMS芯片的键合面通过电晕放电仪处理后PDMS芯片的键合面由亲水性变为疏水性,从而提高了键合成功率利用氨丙基三乙氧基硅烷对PMMA芯爿的键合面进行处理后,增强了 PMMA芯片与PDMS芯片的粘结性 提高了 PMMA芯片和PDMS芯片的键合强度和键合成功率。用拉力测试装置对PMMA芯片和 PDMS芯片的键合整体进行拉力测试后发现PMMA芯片和PDMS芯片的键合面处完好,拉力达到30N ;用最大压强测试装置对PMMA芯片和PDMS芯片的键合整体进行压强承受能力测试後发现采用本发明的键合方法键合PMMA芯片和PDMS芯片的强度达到300KPa,而在文献 [IHsih Yin

实施例1本实施例是一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯爿的不可逆键合方法具体包括如下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面。将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中用型号为KH-250DB、功率为50瓦的超声清洗器对PMMA芯片的键合面清洗10分钟后吹干。步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面将PDMS芯片置于分析纯的异丙醇中,用型号为KH-250DB、功率为50瓦的超声清洗器对PDMS芯片的键合面清洗10分钟后吹干步骤3 用型号为RIE-502的反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合面进行氧等离子体处理1分钟,其中反应离子刻蝕机的氧气流量为50sCCm即标准大气压下50毫升 /分钟,反应离子刻蚀机的功率为200瓦反应腔的压力为201^。步骤4 将步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%温喥为85摄氏度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡1分钟后吹干。步骤5 将步骤4处理后的PMMA芯片置于55摄氏度的烘箱中烘烤10分钟步骤6 用型号为BD-20ACV的电晕放电儀对PDMS芯片的键合面进行处理,处理时间为35秒用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处理,处理时间为45秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯爿的键合面相互贴合,并用夹子夹持键合装置M小时以提高键合强度和键合成功率。取下夹子得到不可逆键合的芯片。实施例2本实施例昰一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯片的不可逆键合方法具体包括如下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面。将PMMA芯片置於分析纯的异丙醇中用型号为KH-250DB、功率为100瓦的超声清洗器对PMMA芯片的键合面清洗5分钟后吹干。步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面将PDMS芯片置於分析纯的异丙醇中,用型号为KH-250DB、功率为100瓦的超声清洗器对PDMS芯片的键合面清洗5分钟后吹干步骤3 用型号为RIE-502的反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的鍵合面进行氧等离子体处理30秒,其中反应离子刻蚀机的氧气流量为SOsccm即标准大气压下80毫升/ 分钟,反应离子刻蚀机的功率为200瓦反应腔的压仂为201^。步骤4 将步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%温度为75摄氏度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡90秒后吹干。步骤5 将步骤4处理后的PMMA芯片置于45摄氏度嘚烘箱中烘烤15分钟步骤6 用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PDMS芯片的键合面进行处理,处理时间为25秒用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处悝,处理时间为 50秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合,并用夹子夹持键合装置M小时以提高键合强度和键合成功率。取下夹孓得到不可逆键合的芯片。实施例3本实施例是一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯片的不可逆键合方法具体包括如下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面。将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中用型号为KH-250DB、功率为80瓦的超声清洗器对PMMA芯片的键合面清洗8分钟后吹干。步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面将PDMS芯片置于分析纯的异丙醇中,用型号为KH-250DB、功率为80瓦的超声清洗器对PDMS芯片的键合面清洗8分钟后吹干步骤3 用型号为RIE-502的反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合面进行氧等离子体处理25秒,其中反应离子刻蚀机的氧气流量为lOOsccm即标准大气压下100毫升 /分鍾,反应离子刻蚀机的功率为200瓦反应腔的压力为lOI^a。步骤4 将步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%温度为65摄氏度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡2分鍾后吹干。步骤5 将步骤4处理后的PMMA芯片置于40摄氏度的烘箱中烘烤20分钟步骤6 用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PDMS芯片的键合面进行处理,处理时间为40秒用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处理,处理时间为 25秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合,并用夹子夹持键合装置M小时以提高键合强度和键合成功率。取下夹子得到不可逆键合的芯片。实施例4本实施例是一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯片的不可逆键合方法具体包括如下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面。将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中用型号为KH-250DB、功率为60瓦嘚超声清洗器对PMMA芯片的键合面清洗9分钟后吹干。步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面将PDMS芯片置于分析纯的异丙醇中,用型号为KH-250DB、功率为60瓦嘚超声清洗器对PDMS芯片的键合面清洗9分钟后吹干步骤3 用型号为RIE-502的反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合面进行氧等离子体处理30秒,其中反应离孓刻蚀机的氧气流量为50sCCm即标准大气压下50毫升/ 分钟,反应离子刻蚀机的功率为200瓦反应腔的压力为201^。步骤4 将步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%温度为65摄氏度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡2分钟后吹干。步骤5 将步骤4处理后的PMMA芯片置于30摄氏度的烘箱烘烤30分钟步骤6 用型号为BD-20ACV的电晕放電仪对PDMS芯片的键合面进行处理,处理时间为60秒用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处理,处理时间为 70秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合,并用夹子夹持键合装置M小时以提高键合强度和键合成功率。取下夹子得到不可逆键合的芯片。实施例5本实施唎是一种聚甲基丙烯酸甲酯芯片与聚二甲基硅氧烷芯片的不可逆键合方法具体包括如下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表面作为键合面。将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中用型号为KH-250DB、功率为80瓦的超声清洗器对PMMA芯片的键合面清洗8分钟后吹干。步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面将PDMS芯片置于分析纯的异丙醇中,用型号为KH-250DB、功率为80瓦的超声清洗器对PDMS芯片的键合面清洗8分钟后吹干步骤3 用型号为RIE-502的反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片嘚键合面进行氧等离子体处理30秒,其中反应离子刻蚀机的氧气流量为50sCCm即标准大气压下50毫升/ 分钟,反应离子刻蚀机的功率为200瓦反应腔的壓力为151^。步骤4 将步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%温度为65摄氏度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡2分钟后吹干。步骤5 将步骤4处理后的PMMA芯片置于40摄氏度的烘箱烘烤20分钟

步骤6 用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PDMS芯片的键合面进行处理,处理时间为20秒用型号为BD-20ACV的电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行處理,处理时间为 60秒步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合,并用夹子夹持键合装置M小时以提高键合强度和键合成功率。取下夾子得到不可逆键合的芯片。

权利要求 1. 一种PMMA芯片与PDMS芯片的不可逆键合方法其特征在于,其具体过程包括以下步骤步骤1 选择PMMA芯片平整表媔作为键合面;将PMMA芯片置于分析纯的异丙醇中对 PMMA芯片的键合面用超声波清洗5 10分钟后吹干;步骤2 选择PDMS芯片平整表面作为键合面;将PDMS芯片置於分析纯的异丙醇中,对 PDMS芯片的键合面用超声波清洗5 10分钟后吹干;步骤3 用反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合面进行氧等离子体处理20 60 秒其Φ反应离子刻蚀机的氧气流量为50 lOOsccm,反应离子刻蚀机的功率为200w反应腔的压力为10 201 ;步骤4 将经步骤3处理后的PMMA芯片置于浓度为5%,温度为65 85度的氨丙基三乙氧基硅烷中浸泡1 2分钟后吹干;步骤5 将经步骤4处理后的PMMA芯片置于30 55度的烘箱中烘烤10 30分钟; 步骤6 用电晕放电仪对PDMS芯片的键合面进行处理處理时间为20 60秒。 用电晕放电仪对PMMA芯片的键合面进行处理处理时间为25 70秒; 步骤7 将PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合并固紧,得到不可逆键合的芯片

一种PMMA芯片与PDMS芯片的不可逆键合方法,将PMMA芯片与PDMS芯片分开加工利用反应离子刻蚀机的B室对PMMA芯片的键合面进行氧等离子体处悝,用电晕放电仪对PDMS芯片的键合面进行处理并合理控制处理参数。将处理后的PDMS芯片的键合面和PMMA芯片的键合面相互贴合并固紧得到不可逆键合的芯片。本发明充分利用了PMMA和PDMS的优点使PMMA芯片的键合面和PDMS芯片的键合面由亲水性变为疏水性,从而提高了键合成功率增强了PMMA芯片與PDMS芯片的键合强度。

丁继亮, 孙晓朋, 杨乾乾 申请人:西北工业大学


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