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Motor Control Center
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Variable Frequency Device
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Close Circuit Televsion
Supervisory
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半导体厂务常用缩写
CUP Central Utility Plant 中央恿S房 GEX General EXhaust 普通及崤 SEX Scrubber EXhaust 酸排 VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有C溶┡ AEX Ammonia EXhaust |性排 PCW Plant Cooling Water 工冷s水 PV P
rocess Vacuum 工真空 HV House Vacuum 真空吸m CW City Water 自硭 FMCS Faility Monitoring Contro System S毡O控系y MCC Motor Control Center R_控制中心 VFD Variable Frequency Device l器 CCTV Close Circuit Televsion ]路 PA Public Adress system V播系y FA Fire Alarm system 火缶到y UPW Ultra Pure Water 超水 FWW Fluoride Waste Water 低舛浞U水 IWW Industry Waste Water 工IU水 OWW Organic Waste Water 有C溶U水 DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨U水 RCL Recycle water u程回收循h水 RCM Reclaim water u程回收再利用水 HFW High Fluoride Waste water 高舛浞U水 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨U水 SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸U液 PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸U液 SW Stripper Waste water x液U液 TW Thinner Waste water 清洗U液 PIX Pix waste water PIX U液 SLOW Oxide slurry waste water 介|研磨U水 SLWP Metal slurry waste water 金傺心U水 SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨U水 PN2 Process N2 u程用氮 GN2 General N2 一般用氮 CDA Compressor Dry Air 嚎s乾燥空 VMB Valve Manifold Box y箱 空{系y AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 CUP Central Utility Plant 中央恿S房 力系y FMCS Faility Monitoring Control System S毡O控系y MCC Motor Control Center R_控制中心 VFD Variable Frequency Device l器 CCTV Close Circuit Televsion ]路 SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系 MCC Motor Control Center R_控制中心 VFD Variable Frequency Device l器 水硐到y UPW Ultra Pure Water 超水 RO Reverse Osmosis 逆B透膜 TOC Total Organic Carbon 有C碳 MB Mixed Bed 混床 UF UltraFiltration 超V SC Strong Cation x子 SA Strong Anion x子 WA Weak Anion 弱x子 DO Dissolved Oxygen 溶解氧 MD Membrane Degasify 饽 GF Gravity Filter 重力式^V器. DI Deionize 去x子水 怏w/化W系y CQC Continuous Quality Control 连续品质控制系统 VMB Valve Manifold Box y箱 VMP Valve Manifold Panel y盘 GMS Gas Monitoring System 气体监测系统 CDS Chemical Dispense System 化W系统 SDS Slurry Dispense System 化W研磨系统 环境安全卫生 ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 器 HVAC AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FD Fire Damper 防火风门 FSD combined Fire Smoke Damper 防火防烟风门 SD Smoke Damper 防烟风门 PHX Plated type Heat Exanger 板式热交换器 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 A/L Air Lock 气闭门室 DCC Dry Cooling Coil 干P管 FCU Fan Coil Unit 小型冷风机 SF Smoke Fan 消防排烟风车 EF Exhaust Fan 通风排气风车 CUP Central Utility Plant 中央恿S房 GEX General EXhaust 普通及崤 SEX Scrubber EXhaust 酸排 VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有C溶┡ AEX Ammonia EXhaust |性排 PCW Process Cooling Water 工冷s水 PV Plant Vacuum 工真空 HV House Vacuum 真空吸m CW City Water 自硭自给式空气呼吸 FMCS MCC VFD CCTV PA FA UPW RO TOC MB UF SC SA WA DO MD GF DI FWW IWW OWW DAHW RCL RCM HFW BGW SAW PAW SW TW PIX SLW-O SLW-M SLW-P PN2 GN2 CDA VMBFaility Monitoring Control System S毡O控系y Motor Control Center R_控制中心 Variable Frequency Device l器 Close Circuit Televsion ]路 Public Adress system V播系y Fire Alarm system 火缶到y Ultra Pure Water 超水 reverse Osmosis 逆B透膜 total organic carbon 有C碳 mixed bed 混床 ultrafiltration 超V strong cation x子 strong Anion x子 weak Anion 弱x子 dissolved oxygen 溶解氧 membrane Degasify 饽 gravity Filter 重力式^V器. deionize 去x子水 Fluoride Waste Water 低舛浞U水 Industry Waste Water 工IU水 Organic Waste Water 有C溶U水 Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨U水 Recycle water u程回收循h水 Reclaim water u程回收再利用水 High Fluoride Waste 高舛浞U液 Backgriding Waste water 晶背研磨U水 Sulfuric Acid Waste 硫酸U液 Phosphoric Acid Waste 磷酸U液 Stripper Waste x液U液 Thinner Waste 清洗U液 PIX waste PIX U液 SLurry Wastewater Oxide 介|研磨U水 SLurry Wastewater Metal 金傺心U水 SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨U水 Process N2 u程用氮 General N2 一般用氮 Compressor Dry Air 嚎s乾燥空 Valve Manifold Box y箱 ESH ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 ISO International Organization for Standardization 国际标准化组织
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