直流四探针法测量两探针电阻率测试仪的基本原理是什么?

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-09-18 08:40 标签： 四探针法测量电阻率
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7_四探针测试半导体薄膜的电阻率
微电子方面的理学院应用物理系专业实验指导书
四探针测试半导体薄膜的电阻率
SZT — 1型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,可以测 量棒状、 块状半导体材料的径向和轴向电阻率, 片状半导体材料的电阻率和扩散层方块电阻, 换上特制的四端子测试夹还可以对低、中值电阻进行测量。
仪器由集成电路和晶体管电路混合组成,具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好,测量 范围广,结构紧凑,使用方便的特点,测量结果由数字直接显示。仪器探头采用宝石导向轴 套,与高耐磨合金探针组成具有定位准确,游移率小,寿命长的特点。本仪器适合于对半导 体、金属、绝缘体材料的电阻性能测试。
一、实验目的
(1)了解四探针电阻率测试仪的基本原理;
(2)了解的四探针电阻率测试仪组成、原理和使用方法;
(3)能对给定的物质进行实验,并对实验结果进行分析、处理。
二、实验原理
测试原理:直流四探针法测试原理简介如下:
1.体电阻率测量:
当 1、 2、 3、 4根金属探针排成直线时,并以一定的压力压在半导体材料上在 1、 4两处 探针间通过电流 I ,则 2、 3探针间产生电位差 V 。材料的电阻率
如下(6.1)式:
式中 C 为探针系数,由探针几何位置决定。
四 探 针 测 量 原 理 图
当试样电阻率分布均匀,试样尺寸满足半无限大条件时,
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四探针法测量半导体电阻率和薄层电阻
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实验一：四探针法测电阻的电阻率
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&四探针法测量半导体电阻率及薄层电阻
四探针法测量半导体电阻率及薄层电阻
作者 dazhi7758
四探针法测量半导体电阻率及薄层电阻
看到有人找这方面的资料，发一个上来，也是从网上来的资源
主要介绍了四探针的基本原理及不同形状的材料所对应的计算公式及修正因子
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这个确实是很重要的一个东西，谢谢分享，
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