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按排行字母分类：　　国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机(EUV)的关注度大幅提升。此后又有媒体宣称，国外政府将对中国购买EUV实施限制，更是吸引了大量公众的目光。一时之间，仿佛EUV成为了衡量中国半导体设备产业发展水平的标杆，没有EUV就无法实现半导体强国之梦。以目前中国半导体制造业的发展水平，购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?　　EUV面向7nm和5nm节点　　　　所谓极紫外光刻，是一种应用于现代集成电路制造的光刻技术，它采用波长为10～14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长降到13.5nm，这不仅使光刻技术得以扩展到32nm工艺以下，更主要的是，它使纳米级时代的半导体制造流程更加简化，生产周期得以缩短。　　赛迪智库半导体研究所副所长林雨就此向《中国电子报》记者解释：“光刻是芯片制造技术的主要环节之一。目前主流的芯片制造是基于193nm光刻机进行的。然而193nm浸没光刻技术很难支撑40nm以下的工艺生产，因此到了22/20nm及以下工艺节点，芯片厂商不得不将193nm液浸技术和各种多重成像技术结合起来使用，以便突破工艺极限。但是采用多重成像的手段就需要进行多次光刻、蚀刻、淀积等流程，无形中提升了制造成本，拉长了工艺周期。”　　因此，EUV技术实质上是通过提升技术成本来平衡工序成本和周期成本。例如，按照格罗方德的测算，启用EUV技术，在7nm和5nm节点，都仅需要1个光罩即可生产。这样理论上来说，就可以起到简化工艺流程，减少生产周期的作用。　　对此，芯谋研究总监王笑龙便指出：“EUV技术的研发主要是针对传统工艺中多次曝光等繁琐问题。在过去的技术中，曝光过程可能重复2～3次，但是EUV技术可以一次完成，既减少了工序，又节约了时间。在简化工艺流程、缩短生产周期的同时，EUV也增加了产能，提升了效率。”　　中国购买为时尚早　　针对EUV，在国内流传着一种声音：受西方《瓦森纳协议》的限制，中国只能买到ASML的中低端产品，出价再高，也无法购得ASML的高端设备。日前，ASML中国区总裁金泳璇在接受《中国电子报》记者采访时否认了这一说法。据金泳璇透漏：“国内某知名半导体晶圆厂现已与ASML展开7nm工艺制程EUV订单的商谈工作，第一台EUV设备落户于中国指日可待。”　　这就是说，EUV要进口到中国并没有受到限制。但是，EUV技术进入中国最大的问题可能并非受限与否，而是有没有必要现在购买?由于EUV开发的技术难度极高，特别是EUV光源的功率不足，导致曝光时间过长，使得EUV一直很难得到实用，目前国际上EUV技术较为成熟的企业只有ASML一家，其销售的EUV价格极为高昂，一台售价超过1亿欧元。而目前EUV的主要应用范围是7nm以下工艺节点，尤其5nm工艺节点的晶圆制造。　　“对于国内制造企业而言，芯片制造的工艺水平还达不到EUV所擅长的范围，目前我们28纳米量产，14纳米还在布局。对于EUV而言，如果采用该技术进行14nm芯片量产，成本太高了。”林雨指出。　　王笑龙也认为EUV技术对于中国来说仍是一项挑战。王笑龙介绍，EUV主要是从7nm开始，目前国内暂时没有这项技术的应用。国内集成电路较为落后，尚未达到EUV技术的先进水平，国内的一些企业尚未对该项技术产生一定的支撑作用。“EUV进入中国可能是多年以后的事情，目前国内28nm才刚开始，14nm大概要2020年，那么7nm技术，最坏的预测可能是2025年，并且中国技术较为落后，追赶先进技术会产生高额费用，暂时尚无足够资金支撑这项技术。”王笑龙说。　　实用化挑战当前依然存在　　事实上，不仅中国对EUV的应用时日尚早，国际上对EUV的应用也局限在很小的范围。对于EUV产业化过程中最大的挑战，林雨表示主要来自于光源和持续生产率。“例如，250W光源是使EUV可用于芯片量产的关键要素。到目前为止，ASML公司已经推出多种采用80W光源的原型，预计将在年底推出其首款125W系统。目前，250W光源主要存在于实验阶段，用于产业化流程中所急需突破的问题是光源的可靠工作效率。据赛迪智库调查了解，Gigaphoton正在帮助ASML生产这种光源。”林雨说。　　根据ASML不久前公布的数据，2017年EUV设备全年出货量仅有12台，预计明年出货量将增加至20台，而现在客户未出货订单为27台。日前，ASML公司将EUV光刻机小范围量产，所配用的是业内人士翘首以盼的250W光源，计划于2017年年底完成设备产品化。　　除此之外，耗电量和曝光速度也是EUV技术的实践者需要征服的挑战。“光刻胶和光照膜是传统工艺中使用到的材料，现在已经不适应EUV技术的发展。此外，EUV技术还面临耗电量大等问题。EUV目前的曝光速度与人们的期望还有一定差距。假如传统工艺一次曝光用1小时，整个过程共需4次曝光，一共要4小时，EUV技术只需要一次曝光，预期耗费1小时便可以完成，但是现实中却需要3小时左右。”王笑龙说。　　成本高也是EUV技术的一个难题。“EUV技术研发投入的资金量很大，技术昂贵，设备稀少。如果这些问题得不到改善，那么这项技术将无法得到实用。鉴于以上所述，EUV技术既是挑战，也是机遇。”王笑龙说。　　长期战略，中国不应缺位　　　　尽管EUV现在还存在各种障碍，但是其未来应用前景依然各方被看好。从长远角度来看，发展EUV技术是非常必要的。对此，林雨指出：“自上世纪九十年代起，中国便开始关注并发展EUV技术。最初开展的基础性关键技术研究主要分布在EUV光源、EUV多层膜、超光滑抛光技术等方面。2008年‘极大规模集成电路制造装备及成套工艺’国家科技重大专项将EUVL技术列为下一代光刻技术重点攻关。《中国制造2025》也将EUVL列为了集成电路制造领域的发展重点对象，并计划在2030年实现EUV光刻机的国产化。”　　“目前来看，EUV这项技术对中国尚无实际意义，但是具有一定的战略意义。中国虽然技术落后，研发EUV技术困难颇多，但是仍要发展完整的工业体系，EUV是整套体系中最困难的一块。放眼于未来，中国的技术最后还是会到达高水平层次，7nm技术也会得到应用，这一步势必要走，所以现在的准备工作是一定要做的，努力减小未来中国与世界的差距，所以即使如今技术不成熟、制作设备缺少、但是EUV技术还是要加大关注，为未来我国技术做铺垫。”王笑龙说。　　虽然国家政策对于先进的EUV技术给予了研究支持，但是中国在光刻行业的技术、人才等积累还很薄弱。追逐国际领先者，中国必将付出更大的精力和更多的资金。“对于中国来说，这项技术的基础薄弱，制作设备稀缺，光学系统也会是极大的挑战，可以这么比喻，在中国，做EUV要比做航空母舰困难得多。”王笑龙说。　　因此，针对于中国EUV技术的发展，王笑龙给出了一些建议。“追求实用技术是企业的本能，追求最新技术却不符合企业效益。因此对于先进的EUV技术，光靠企业和社会资本是无法支撑起来的，对于企业来说，研发技术缺少资金的支持;对于社会资本来说，缺乏热情的投入，因此，这项技术需要政府的支持，需要国家政策的推进。”王笑龙说。
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加工定制：
外形尺寸：
211.5mm×73mm×34.5mm
产品用途：
定制新包装
一、产品简介
SGA-600-COCL2气体检测仪是深国安电子于2017年推出的一款智能型便携泵吸式气体检测仪；是全球搭载智能光感控制、集气体、温度、湿度、时间、吸气泵、报警为一体的多功能气测报警装置；客户只需一键开机，无需任何化学试剂，即可实时对空气中的浓度进行检测；当现场达到预设的报警点时，会自动发出声光报警。并有温馨文字提示；产品采用当前进的气测传感技术，10秒钟出检测结果；准确度高达3%以内，可与国外原装进口检测分析仪媲美。
SGA-600-COCL2气体检测仪具有设计前卫、操作简便、测量精准、坚固耐用的特点；警示“黄”配以磨砂“黑”色调，沉稳醒目；人体学“十字型”按键设计，操控方便；3.5英寸超高清液晶彩色屏幕，美观大方；高强度ABS+PC塑胶外壳，耐冲击、耐酸、耐碱、耐寒、耐热、易阻燃；32位纳米级微处理器+24位超高ADC采集芯片，计算速度更快、数值更；本安型电路设计、安全可靠；内置世界著名吸气泵品牌-德国THOMAS微型真空泵，提供稳定、气流。并有高低5个档速可调；国外原装进口气体传感器，精度高、稳定性强、误差率低、直线性好；2800mA大容量锂电池，为气测提供续航； PPM与mg/m3量程单位自由切换，简单明了；中英文操作界面，适用所有人群；还可选配数据存储功能，轻松存储100,000条数据。支持本机查看所有保存的历史数据、开关机纪录、报警纪录、故障纪录等；并可通过电脑将数据导出EXCEL表格，进行打印、编辑、图表显示等；可以说，SGA-600-COCL2气体检测仪是当前国内进、最智能的一款气体检测仪表产品。
泵吸式检测仪、便携式测定仪、手持式浓度测试仪、浓度分析仪、气体泄漏报警器、气体传感器、单一气体检测仪、复合式气体检测仪、COCL2检测仪、COCL2传感器、带数据存储检漏仪
二、产品特点
●本安型电路设计、安全可靠；
●可检测1000多种可燃及有毒有害气体；
●外观精美、携带方便、测量精准、坚固耐用；
●集光感、气体、温度、湿度、时间、吸气、报警为一身，功能强大；
●3.5英寸超高清液晶彩屏，320*240分辨率，呈现各项检测指标；
●24位数据采集芯片+32位纳米级微处理器，分辨率更高、反应速度更快；
●高强度ABS+PC塑胶外壳，耐冲击、耐酸、耐碱、耐寒、耐热、易阻燃；
●国外原装进口气体传感器，精度高、稳定性强、误差率低、直线性好；
●内置德国THOMAS微型真空泵，噪音低、寿命长、气流稳定、；
●全量程温湿度补偿和数据修正，测量精度可媲美国外原装进口气体检测仪；
●客户可根据需要，自行设置高、低段报警值、调零、泵及声音的开关等功能；
●全程纪录仪表使用情况，现场由你掌握：如何时开关机、何时报警等。
●多重保护：防过载冲击、防过电压、防静电干扰、防磁场干扰；
●智能光感设计：仪器会在不同强度光照下，自行调节屏幕亮度；
●双重数据恢复、安全无忧：智能一键复位+恢复出厂设置；
●高档铝合金外箱，耐压、防震、防摔，可重复携带使用；
●2800mA大容量锂电池，可连续20小时正常工作；
●手动支持吸气速度5档调控、光照度10档调节；
USB设计，兼容所有Android手机充电器；
●中英文操作界面可选，适用于所有人群使用；
●“十字型”按键设计，人体工程学；
●PPM与mg/m3量程单位自由切换；
●现场浓度达到报警点时，声光报警的同时，操作界面上还会数值的颜色变化及文字提示；
●支持100,000条数据存储、下载、打印、编辑、导出、图表显示等（选配）；
&&数据保存间隔可在1-60秒之间自由设置
& 支持本机查看保存的所有测量数值和时间日期
& 可通过电脑专用软件查看图表、导出数据等
●防爆等级：ExibⅡCT4Gb
●防护等级：IP65
三、产品参数
0－1PPM（更多量程请咨询）
0.001（根据量程和传感器而定）
GB 《化工企业可燃气体和有毒气测报警设计规范》
GB 《作业场所环境气测报警仪通用技术要求》
GBZ 2.1-2007《工作场所有害因素职业接触限值》
GB0《性气体环境用电气设备
第一部分：通用要求》
GB0《性气体环境用电气设备
第四部分：本质安全型“i”》
GB 《作业场所环境气测报警仪 通用技术要求》
Q/SGA 01-2014《深国安电子科技有限公司企业执行标准》
型号、气体名称、量程单位、实测值、温度、湿度、时间、电池剩余量、
吸气泵、声音、报警状态、温馨文字提示等
300-500CC/Min
≤50mA（根据技术原理有所差异）
2.4英寸高清液晶彩屏
高强度ABS+PC
≤30S（T90）
声、光、文字提示
≤±1%（F.S/年）
高报、低报、电量不足、故障
-20℃～+50℃(特殊要求请咨询)
高档铝合金外箱（可承重100KG）
≤95%RH无结露
266mm×76mm×162mm
86～106Kpa
-40～+80℃ （选配）
2800mA聚合物锂电池
0-100%RH （选配）
20H以上（以电化学为例）
根据不同光照自动调节屏幕亮度（选配）
USB充电器（安卓手机通用）
ExibⅡCT4Gb
211.5mm×73mm×34.5mm
3～5年（根据传感器而定）
检测仪、包装箱、说明书、合格证、充电器、数据线、出货单 各一份
数据存储&&&&&&&&&&& （选配）
存储数量：100,000条&&
间隔时间：1-60秒可调
支持本机和电脑查看
自动纪录开关机时间、何时报警及故障纪录
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手机可以像表一样戴在手腕上，路灯能够适应温度变化自动调整色温、如果有人来访，主人可用手机远程为来访者开门……在高交会现场，这些贴近生活的高新技术产品和科研成果，吸引了大批观众的眼球。
穿戴 石墨烯手机弯成圆环戴手腕上
“手机真的可以弯曲的！”昨日，在中科院展区，一款可以弯曲的智能手机赚足了人气，吸引众多市民不断前来询问、试戴。据介绍，这是由重庆墨希科技有限公司研发的石墨烯柔性屏手机，也是全球首款可弯曲智能手机。
这款石墨烯柔性屏手机比一般的手机长一些、窄一点，屏幕有5.2英寸大，可以弯成一个圆环，戴在人的手腕处。
“和现在的可穿戴智能设备相反，它的屏幕是软的，电池、主板等部件是硬的。”重庆墨希科技有限公司副总经理张亮博士介绍，他们采用石墨烯制成手机屏幕，使其可以弯曲，将不能弯曲的电池等元器件做在两端，这样拿在手上或者戴在手上都可以。这个手机最大的特点就是可穿戴，可触控、可储存电话，是一款智能手机。和现在电话手表等可穿戴设备不同，它不仅能穿戴而且方便操作。
据了解，这款手机为安卓系统，打电话、上网等功能都能方便的实现。今年年底，该公司将推出6.23英寸黑白屏的弯曲智能手机上市，彩屏手机预计2018年能和消费者见面。
开车 多色温LED智能路灯助你安全行驶
气温15℃，LED路灯呈现暖白光；气温低于10℃，智能遥调为黄光……昨日的高交会上，渝中区展台呈现的一款“互联网+多色温防雾霾亮度遥调新一代LED智能路灯”可以根据环境温度变化，智能遥调多种色温灯光。
据了解，这款LED智能路灯由双光源多色温灯组组成，内置智能终端控制器。在不同气温和季节，可根据人们的感官需求及环境气候的变化，通过温度传感器、湿度传感器、PM2.5传感器等采集数据，并把数据上传到后台服务器，由服务器对集中控制器发出命令，远程智能调控LED灯具，实现多种色温照明，提高行车过程中，驾驶员对路面的感官舒适度。如春、秋、冬季，灯光色温可调为暖白光；夏季，灯光色温可调为白光；雾天、雾霾天灯光色温可调为具有穿雾、霾的黄光，实现防雾、防霾照明，保障交通安全。
此外，在不同时间段、不同光照度、不同车流量等情况下灯光通过光敏传感器、超声波传感器、雷达传感器等智能调控实现多种亮度照明模式。以G50重庆渝涪高速公路铁山坪、华山隧道照明为例，可在不同时段将灯光调整为多种照明模式，包括“白天模式”、“夜间模式”、“夏季模式”、“冬季模式”、“防雾霾模式”等，从而极大提高节电率，同时能有效解决隧道照明为了节电采用关闭控制回路或者间隔关灯方式造成照明暗区，减少交通安全隐患。
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“错拿行李，甚至不小心丢了，真的太恼火了。”循声望去，一款红色花旦脸谱图案的行李箱映入眼帘。在高新区展台，记者看到这个由重庆克瑞特公司开发的妙魅防丢智能旅行箱看上去与普通旅行箱并无区别。但每个旅行箱都配置一个定位芯片和独一无二的二维码，扫描二维码便可下载追踪自己旅行箱的APP，“若是行李丢失，只要打开APP，便可查看行李箱现在的位置。”重庆克瑞特文化传播有限公司负责人说，“为了预防行李丢失，还可以在APP中设置，超出一定距离便报警提醒。”
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展会现场，市民只需站在距离机器1米左右的正前方，当需要识别的人脸进入绿色的识别框内，1秒钟将人脸扫描进入系统，通过系统内大数据的分析对比，约4~5秒钟后，将在屏幕上显示与你相似度最高的明星脸。
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x²无穷）x^(2^n)=x^(+无穷)=0f(x)=f(x^2)=……=f(x^(2^n))=limf(x) (x-&gt,+无穷）时.当x∈（1,1）时证明.当x∈（0,x²&x所以,lim（n-&无穷）x^(2^n)=x^(+无穷)=+无穷f(x)=f(x^2)=……=f(x^(2^n))=limf(x) (x-&+无穷） =f(1)2：任取x∈（0,+无穷）f(x)=f(x^2)=f(x^4)=f(x^8)=……=f(x^(2^n))1
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