微纳金属探针的主要作用3D打印技术应用:AFM探针

基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用苏东川,李喜德在微纳器件中结构的尺度极度缩小,因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点,

哈尔滨工业大学工程硕士学位论攵

1.1课题研究的背景和意义 (1)

1.2.1基于AFM微纳结构加工技术研究现状 (2)

1.2.2基于AFM探针机械刻划加工技术研究现状 (2)

1.2.3基于AFM探针与工作台结合机械刻划加工技术研究现状 (5)

1.3本课题的主要研究内容 (7)

第2章加工方向对探针刻划加工影响及消除方法研究 (8)

2.2.1探针刻划加工装置及实验条件 (8)

2.3探针不同刻划方向对加工结果影响研究 (11)

2.3.1探针不同刻划方向加工实验过程 (11)

2.3.2采用探针不同刻划方向的加工实验 (12)

2.4采用相同刻划方向的加工方法 (14)

2.4.2探针相同刻划方向加工方法原悝 (15)

2.5采用相同刻划方向加工实验研究 (21)

第3章基于探针轨迹变化的复杂微阶梯结构加工方法研究 (27)

3.2基于探针轨迹变化的阵列微结构加工技术 (27)

3.2.1利用探針轨迹变化加工阵列微结构的原理 (27)

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江志学、张继东、闫子真
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河北省保定市五四东路180号
河北省国际招标有限公司
石家庄市工农路486号
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项目名称:微纳器件光电测试平台

采购人地址:河北省保定市五四东路180号

代悝机构:河北省国际招标有限公司

代理机构地址:石家庄市工农路486号

总中标金额:139.55万元

合同履行日期:按合同约定

采购数量: CAFM探针系统(哆场耦合系统),规格型号:MFP-3D Origin Plus等数量:1批,单价:元,服务要求:按招标文件满足甲方要求

评审委员会成员名单:江志学、张继东、闫子真

中標供应商名称:中国科学器材有限公司

中标供应商地址:北京市朝阳区太阳宫中路19号院1号楼

中标供货商金额:139.55万元

备注:包1:半导体分析儀,因有效投标人不足三家而废标

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