微纳金属3D打印技术应用:AFM探针

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构

闫永达,耿延泉,于博文,赵学森,胡振江

专利内容由知识产权出版社提供

采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法属于微納米结构加工领域。为了

解决复杂三维微纳米结构加工问题所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方

向精密工作台底座固連在Y方向精密工作台的滑块上X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方

向精密工作台底座固连在AFM样品台上Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三

种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置实现采用AFM

探针纳米刻划技术加笁复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结

构的加工问题且方法简单,装置及加工实现成本相对较低

150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

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