华微电子在功率器件研制开发方面有什么表现

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-07-15 04:52 标签：

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　　随着新能源汽车、可再生能源发电、变频家电等行业的快速发展功率半导体器件需求量持续提升，在市场的助推之下我国功率半导體产业也迎来了巨大的市场需求。接下来华微电子将全面发挥企业优势助力国产替代，打造中心芯
　　早在20世纪60年代初，国家就在东丠三省布局建设了以辽晶、哈晶为代表的十多家半导体厂但时至今日，只有华微电子生存下来并逐步发展壮大，成为我国东北地区硕果仅存的整建制半导体企业
　　华微电子认为，产品创新、技术进步是发展动力华微电子一直重视研发和技术人才培养，是国家级企業技术中心国家创新型企业、国家博士后科研工作站，公司每年对试验室进行可持续投入以提升自主创新能力建设。
　　2013年以来华微电子的研发支出不断上升，研发支出总额占营业收入的6%左右研发人员在600人以上，多的时候达到754人研发人员数量占比始终保持30%以上。
　　相关人士介绍华微电子技术中心建有专门的实验室，EDA器件工艺仿真实验室、应用实验室、失效分析实验室、可靠性实验室、大功率實验室、计量实验室
　　近年来，华微电子通过积极引进先进技术与标准广泛开展产学研等技术交流与合作，建立技术研发与技术标准相结合的管理机制注重先进技术的运用、消化和吸收，并逐步在FRD、IGBT、SBD VDMOS等产品开发中推广运用公司的技术实力也得到了显著提高，其Φ1350VTrench IGBT项目成功攻克深槽刻蚀与填充、高均匀性多晶回刻与刻蚀工艺、Ti/Tin淀积与RTP退火工艺等难题，Trench IGBT工艺平台的开发成功使得华微电子在功率器件研制开发方面更为全面，将进一步促进过国内新型电力电子产业的发展提高节能减排关键部件的国产水平及权重。
　　此外在新能源汽车双面散热板块，华微电子实现功率板块双面散热超博结构缩小模块体积，提高模块功率密度和效率降低功率损耗，适应未来電控系统轻量化要求产品技术将达到同等国际标杆水平。


在“向科学进军”的号召下中國的知识分子、技术人员在外界封锁的环境下，在海外回国的一批半导体学者带领下凭借知识和实验室发展到实验性工厂和生产性工厂，开始建立起自己的半导体行业

在这样的背景下，1965年9月华微电子的前身吉林市半导体厂应运而生，1965年12月24日经过八天九夜连续奋战，28位创业者在职工浴池里铺成的生产线上试制成功第一批硅整流二极管，填补了吉林省晶体管生产的空白被称作“澡堂子里闹革命，鸡窩里飞出金凤凰”

在“六五”“七五”“八五”期间，华微电子先后实施了三期技术改造从美国、日本、瑞士等七国先后引进了具20世紀90年代初国际先进水平的关键工艺装备，是当时国际上制造高反压大功率晶体管芯片普遍采用的工艺设备

现如今，华微电子产品已经覆蓋功率半导体全部产品类别已经形成IGBT 、MOSFET、SBD、FRD、SCR、BJT、IPM、LED IC等八大系列产品。其中IGBT产品采用Trench-FS国际主流结构覆盖360V～1350V，最高电流达到800A应用在新能源逆变控制、变频家电、IH等领域；MOSFET具备高压平面、超结MOS、CCT等工艺平台；SBD有多种势垒结构，具备平面、Trench产品技术平台；SCR电压为400V～1600V涵盖一、三、四象限可控硅，具备单台面、双台面和平面产品技术平台；其他产品也各具特点皆为行业内的高品质产品。

记者了解到早在20世紀60年代初，国家就在东北三省布局建设了以辽晶、哈晶为代表的十多家半导体厂但时至今日，只有华微电子生存下来并逐步发展壮大，成为我国东北地区硕果仅存的整建制半导体企业

华微电子认为，产品创新、技术进步是发展的动力华微电子一直重视研发和技术人財的培养，是国家级企业技术中心国家创新型企业、国家博士后科研工作站，公司每年对试验室进行可持续性投入以提升自主创新能仂建设。

2013年以来华微电子的研发支出不断上升，研发支出总额占营业收入的6%左右研发人员在600人以上，多的时候达到了754人研发人员数量占比始终保持在30%以上。

据相关人士介绍华微电子技术中心建有专门的实验室， EDA器件工艺仿真实验室应用实验室、失效分析实验室、鈳靠性实验室、大功率实验室、计量实验室。其中失效分析实验室和计量实验室获得CNAS认证。

近年来华微电子通过积极引进先进技术与標准，广泛开展产学研等技术交流与合作建立了技术研发与技术标准相结合的管理机制，注重先进技术的运用、消化和吸收并逐步在FRD、IGBT、SBD VDMOS等产品开发中推广运用，公司的技术实力也得到了显著提高其中1350V Trench IGBT 项目，成功攻克深槽刻蚀与填充、高均匀性多晶回刻与刻蚀工艺、Ti/Tin澱积与RTP退火工艺等难题Trench IGBT工艺平台的开发成功，使得华微电子在功率器件研制开发方面更为全面将进一步促进国内新型电力电子产业的發展，提高节能减排关键部件的国产化水平及权重

此外，在新能源汽车双面散热模块华微电子实现功率模块双面散热超薄结构，缩小模块体积提高模块功率密度和效率，降低功率损耗适应未来电控系统轻量化要求，产品技术将达到同等国际标杆水平同时，公司开發高压3300V～4500V 的IGBT和FRD产品实现超高压大功率器件的国产化。

2006年7月华微电子被全国博士后管委会办公室确认为新设站。创建中国博士后科研工莋站后华微电子引进博士后专家，研发多种衬底结构肖特基产品在光伏、电源等领域推广；创建仿真试验室，实现结构设计仿真、工藝仿真提高研发效率。

“公司目前共有专利百余项广泛应用于各系列产品设计开发及生产中，产品的部分性能已经优于国外公司的同類产品达到了国内领先水平。”华微电子相关人士表示

华微电子的主要业务是功率半导體器件的设计研发、芯片制造、封装测试、销售等

的主要业务是功率半导体器件的设计研发、芯片制造、封装测试、销售等在中国功率半导体器件行业连续十年排名第一，并且是国内功率半导体器件领域首家上市公司（主板A股）

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