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Q/S上海天马微电子有限公司企业标准 Q/STFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称版号：1.0 制造部总 页 数：23制定部门： 拟 审 制： 核：生效日期： 2007 年 4 月 28 日方永学
颜建军 蔡明宏
凌志华 标 准 化： 会 签：批准：安德浩 2007-04 发布 上海天马微电子有限公司发布2007-04 实施上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第2页共23页 更改内容 更改人 更改日期Q/S 更改状态一．TFT 工艺流程中英文标准名称 Array Process Flow Input 投料Unpacking Initial clean Particle count Clean before depo Gate （Mo/Al alloy ) Film depo RS meter Macro Inspection Clean before PR Pre bake PR Coating PR vacuum dry(VCD) PR soft bake Expose Titler Expose/Edge Expose 拆包装 预备清洗 尘埃粒子测试 成膜前清洗 栅电极成膜 电阻测量 宏观检查 涂胶前清洗 预烘 光刻胶涂布 光刻胶低压干燥 前烘 曝光 打标/边缘曝光 显影 坚膜 显影后自动光学检查 宏微观检查 显影后关键尺寸检查 长寸测量 栅电极湿刻 接触角测量 光刻胶剥离 刻蚀后关键尺寸测量 刻蚀后自动光学检查 宏微观检查 激光修补阵列段工艺流程Gate 栅电极层Develop PR hard bake ADI Mic/Mac Inspection CD after develop Total pitch Gate Wet etch Contact angle PR strip CD after etch AEI Micro/Macro Inspection Laser Repair上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第3页共23页Clean before depo Active film depo AOI Macro Inspection Thickness Measurement Clean before PR Pre bake PR Coating PR vacuum dry PR soft bake Expose Develop PR hard bake ADI Mic/Mac Inspection Active film Dry etch & Ashing Thickness Measurement PR strip AEI Mic/Macro Inspection Clean before depo S/D Mo RS meter MACRO Inspection Clean before PR Pre bake PR Coating PR vacuum dry PR soft bake Expose Edge expose Develop PR hard bake ADI MIC/MAC Inspection CD after develop Hard bake by oven S/D Mo Wet etch n+ a-Si Dry etch film depo 成膜前清洗 Active 成膜 自动光学检查 宏观检查 厚度测量 涂胶前清洗 预烘 光刻胶涂布 光刻胶低压干燥 前烘 曝光 显影 坚膜 显影后自动光学检查 宏微观检查 Active 膜干刻与灰化 厚度测量 光刻胶剥离 刻蚀后自动光学检查 宏微观检查 成膜前清洗 源/漏电极成膜 电阻测量 宏观检查 涂胶前清洗 预烘 光刻胶涂布 光刻胶低压干燥 前烘 曝光 边缘曝光 显影 坚膜 显影后自动光学检查 宏微观检查 显影后关键尺寸检查 烘炉坚膜 源电极/漏电极湿刻 n+高掺杂膜干刻Q/SActive 层S/D 源/漏电极层上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第4页共23页PR strip Thickness Measurement CD after etch AEI Micro/Macro Inspection Clean before O/S test Open/Short Test Clean before depo Pass'n AOI MACRO Inspection Thickness Measurement Clean before PR Pre bake PR Coating PR vacuum dry PR soft bake film depo 光刻胶剥离 厚度测量 刻蚀后关键尺寸测量 刻蚀后自动光学检查 宏微观检查 短路/开路测试前清洗 短路/开路测试 成膜前清洗 保护膜成膜 自动光学检查 宏观检查 厚度测量 涂胶前清洗 预烘 光刻胶涂布 光刻胶低压干燥 前烘 曝光 边缘曝光 显影 坚膜 显影后自动光学检查 宏微观检查 氮化硅干刻与灰化 光刻胶剥离 刻蚀后自动光学检查 宏微观检查 成膜前清洗 ITO 成膜 电阻测试 煺火 宏观检查 涂胶前清洗 预烘 光刻胶涂布 光刻胶低压干燥 前烘 曝光 显影Q/SPassivation 保护层Expose Edge expose Develop PR hard bake ADI Micro/Macro Inspection SinX Dry etch & ASHING PR strip AEI Micro/Macro Inspection Clean before PR a-ITO Anneal Macro Inspection film depo RS meterITO ITO 层Clean before PR Pre bake PR Coating PR vacuum dry PR soft bake Expose Develop上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第5页共23页PR hard bake ADI Micro/Macro Inspection ITO AEI Micro/Macro Inspection Anneal Array test Array repair TEG test Sort film etch PR strip 坚膜 显影后自动光学检查 宏微观检查 ITO 膜湿刻 光刻胶剥离 刻蚀后自动光学检查 宏微观检查 煺火 阵列测试 阵列修补 TEG 测试 分级Q/SFinal E/T 最终电测Cell Process flow CF Input 彩膜投料CF Initial Clean CF AOI CF Sort Clean before PI PI Print Pre-cure PI Inspection PI Thickness Measurement Main-cure PI rework CF&TFT Matching Rubbing Rubbing Inspection Loader & Un loader Buffer CST Buffer Rotation/Cooling Unit制盒段工艺流程彩膜预备清洗 彩膜自动光学检查 彩膜分级 配向膜涂布前清洗 配向膜涂布 预固化 配向膜检查 配向膜厚度测量 固化 配向膜返工 CF&TFT 匹配 配向摩擦 摩擦检查 上料机/下料机 缓冲器 工装栏缓冲器 旋转/冷却单元 旋转/对位单元 翻转单元 摩擦后清洗 衬垫球散布 衬垫球计数 衬垫球返工 衬垫球附着固化 导电胶涂布PI 配向膜ODFTurn Align Unit Turn Over Unit After Rubbing Cleaner Spacer Spray Spacer Counter Spacer rework Spacer Cure Short Dispense上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第6页共23页Sealant Dispense Seal Inspection LC Dispense Vacuum Assembly UV Cure Mis-alignment check Seal Oven Eye Inspection Cell gap Measurement 1/4(1/6)Sheet Cutting, 边框胶涂布 边框胶检查 液晶滴下 真空贴合 紫外线固化 错位检查 边框胶热固化 目视检查 盒厚测试 1/4(1/6)切割 切条 切粒 Visual 测试 磨边 浸泡式清洗 贴片前清洗 贴片 贴片检查 贴片返工 消泡 激光切线 终检 修补 分级 出货检查 货栈Q/SCutting 切割Stick Cutting, Cell Cutting Visual Test Edge Grind Dipping clean Clean before PolECPPol Attach Pol Inspection Pol reworkAuto Clave Laser Trimmer Test 测试Auto Clave Laser Trimmer Gross Test Repair Bin sorter OQC Test Store上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第7页共23页 Module Process FlowPad cleaning IC Bonding Microscope Inspection AOI Adhesive test ACF Attaching FOG Bonding Microscope Inspection Peeling strength testQ/S模块段工艺流程端子清洗 IC 邦定 镜检 自动光学检查 粘接力测试 ACF 粘贴 FOG 邦定 镜检 拉力测试 电测 1 修补 封胶 补强 UV 胶固化 电测 2 遮光胶带粘贴 保护胶带粘贴 背光源组装 背光源焊接 触摸屏组装 最终电测 返工 老化 QC 检验 喷码 包装 出货检验 合格品出货COGFOGET test1 IC or FPC Repair UV glue sealing FPC reinforcement UV glue curing ET test2 anti-ultraviolet tape attaching protected tape attaching Backlight assembly Backlight soldering Touch panel assemblyAssembly 组装Final ET test Rework Aging QC test Code printing Packing OQC Test Finished good shipmentCIM nameCIM System Manufacturing Execution System(MES) Preventive Maintenance System(PMS) Statistical Process Control(SPC) Equipment Automation Program(EAP) Report集成控制系统名称计算机集成制造系统 制造执行系统（MES） 设备预防保养系统（PMS） 统计过程管理（SPC） 设备自动化（EAP） 报表CIM 计算机集成制造 系统上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第8页共23页Engineering Data Analysis(EDA) Finished Good Management System(FGMS) Product Glass Panel Process Flow Operation EDC Equipment Chamber Unit Sub Unit Port OIC (Operator Interface Client) EDB FGMS Dispatcher Create Start Scrap Un scrap Complete Ship Un ship Receive Track In Track Out Wait Hold Release Rework Vehicle Robot AGV (Automatic Guided Vehicle) MGV (Manual Guided Vehicle) Clean lifter LIM (Linear Induction Motor) Carrier OHS (Overhead Handling System) 工程数据分析（EDA） 成品管理系统（FGMS） 产品 玻璃基板 面板 工艺流程 操作 工程数据收集 设备 腔体 单体 副单体 端口 操作者界面 工程数据库 成品管理系统 派货 建立 下线 报废 取消保废 完成 出货 取消出货 收料 入账 出账 等待 滞留 释放 返工 搬运车 机械手 自动搬运车 人工搬运车 净化电梯 线性感应马达传送载具 天车搬送系统Q/S上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第9页共23页Stocker (clean depot) Battery Bay Inter-bay Intra-bay Bumper Charger Controller Conveyor Crane FFU (Fan Filter Unit) Host I/O (Input / Output) IR (Infra-Red) IRIF(Infra-Red Interface) Load Unload Magnetic tape Retrieve RTM (Rotary Transfer Machine) SCARA arm Reset Transportation Recipe Stock out Request Transfer Instruction Select Cancel Operation Support Process Start Batch Lot ID (Identity) 工装篮存放架 电池 作业区 作业区和作业区之间 作业区之内 减震缓冲器 充电器 控制器 传送带 吊车（在 Stocker 内） 风扇过滤器 主机 输入/输出 红外线 红外接口 上料 下料 磁条(AGV 路径所使用的磁条) 检索 旋转传送机构 AGV 传送臂 重新设定 传输 工艺参数的组合 将工装篮取出货栈 要求,请求 传送,运送 命令,指令 选择 取消 作业,操作 支援,支持 工艺 开始 批量 批 ( 指生产线的在制品或产品控制 单位) 识别码(如 Lot ID or Chip ID)Q/S上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第10页共23页Sheet Inspection Defect Hold Release Equipment Tool WIP (Work In Process) Maintenance Cassette Empty Reserve Report Rework Log on Log off Note Unpacking line Un packer Glass conveyor Initial Cleaner Un loader Cassette Manual Guide Vehicle Array Cassette ODF Cassette Automated Material Handling System(AMHS) Clean Stocker(STK) Overhead Handling System (OHS) Material Control System (MCS) Clean Robot Loader/Un loader Sorter (MGV) 片(Array 区玻璃基版计数单位) 检验 缺陷 滞留 释放 设备（简称为 EQP） 工具,机台 在制品（工艺在制品） 维修保养 工装篮(阵列段),卡匣(制盒段及模 块段) 空的 预备 报告 返工 登录，入系统 注销登录，离开系统 批注 拆包线 拆包机 玻璃传送带 预清洗 下料机 工装篮人工搬运车 Array 工装篮 ODF 工装篮 自动物料搬运系统 洁净工装篮存放架（STK） 天车搬送系统（OHS） 物料控制系统（MCS） 洁净机械手 上/下料机 分片机Q/S上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第11页共23页 二．TFT 材料中英文标准名称 类型 Type Materials nameGlassQ/S材料名称玻璃基板 彩色滤光膜 白玻璃基板 液晶面板 铝钕/铝靶材 钼铌/钼靶材 ITO 靶材 Al 蚀刻液 ITO 蚀刻液 硝酸 乙酸 显影液 剥离液 单乙醇胺 光刻胶 有机膜用光刻胶 稀释剂 N-甲基-2-吡咯烷酮 氢氟酸 丙酮 异丙醇 酒精 光罩 APR 版 摩擦绒布 双面胶布 阵列电测架 电测用探测架 屏电测用探测头 开路、短路电测用探测头 特氟龙带 硅胶皮 无尘卷布玻璃 GlassColor filter Bare glass LCD Panel AlNd/Al Target MoNb/Mo Target ITO Target Al Etchant ITO Etchant HNO3 CH3COOH Developer Stripper MEA Photo Resist Organic Photo Resist Thinner NMP HF Acetone IPA Ethanol Photo Mask APR Plate Rubbing Cloth Adhesive Tape Probe frame for array tester E/T Frame Cell ET Probe Unit Open/Short tester and prober Teflon Tape Silicon rubber Wiper Tape靶材 Target化学液体 Chemical辅助器材 Sub material上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第12页共23页NF3 SiH4 SF6 NH3 Cl2 HCL CHF3 PH3 CF4 N2 O2 H2 Ar He 三氟化氮 硅烷 六氟化硫 氨气 氯气 氯化氢 三氟甲烷 磷烷 四氟甲烷 氮气 氧气 氢气 氩气 氦气 液晶材料 偏光片 散光膜 聚酰亚胺 边框胶 UV 胶 各向异性导电膜 导电衬垫球 边框胶内衬垫球 盒内衬垫球(白） 盒内衬垫球(黑） 背光源 集成电路/驱动 IC 印刷电路板 柔性印刷线路板 模块外框 触摸屏/触摸膜 阻容器件 助焊剂 焊锡/焊接剂Q/S高纯气体 High purity gas液晶 LC 胶膜 Film 涂料 Dope Paint 树脂 ResinLC Polarizer Diffuser PI Sealant UV glue ACF Conductive Spacer Spacer used in Sealant Spacer used in Cell（White） Spacer used in Cell（Black） Back Light Unit Integrated circuit/Driver IC PCB FPC Module Frame Touch Panel/Touch film RCL元器件 Parts焊接材料 Soldering materialFLUX SOLDER CREAM上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第13页共23页 三．TFT 设备中英文标准名称 English nameExposer Coater Developer long size measuring and critical dimension measuring multiple equipment Titler& Edge Exposer Edge Exposer AFM FIB FE-SEM UV Meter EXCIMER UV Ionizer Bar Fire Extinguisher Photo Ionizer PVD (Multi-chamber type sputtering system) Particle counter Ultrasonic Cleaner Stripper Contact Angle Analyzer RS Meter(4point Probe) Cassette Cleaner Initial Cleaner Pre CVD cleaner HF Cleaner before S/D Liquid Particle Counter CCSS Anneal Oven Hard Bake Oven Film Tester Etchant Concentration Management System DMS DRS RMS Wet Etcher 4.5G-Macro Review System 4.5G-Mic/Mac Review System RGA(Residual Gas Analyzer) Hot N2 Transfer System PECVD Special Gas Supply & Monitor SystemQ/S中文名称曝光机 陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机 测长仪和线宽测量仪 打标机和边缘曝光复合机 边缘曝光机 原子力显微镜 聚焦离子束系统 场发射扫描电子显微镜 UV 照度计 准分子紫外清洗机 除静电棒 灭火器 软 X 射线静电消除器 磁控溅射成膜机 尘埃粒子测量仪 超声波清洗机 脱膜机 接触角测量仪 四探针仪 工装篮清洗机 预备清洗机 成膜前清洗机 S/D 成膜前带 HF 清洗机 液体内尘埃粒子测量仪 中央化学品供应系统 退火炉 后烘炉 薄膜附着力测试仪 刻蚀液浓度管理系统 显影液浓度管理系统 显影液溶剂回收系统 剥离液浓度管理系统 湿刻机 4.5G 宏观检查机 4.5G 宏观、微观检查机 残余气体分析仪 热 N2 供应系统 等离子增强化学气相淀积设备 特种气体供应和监视管理系统PHOTO 曝光PVD&WET 溅射&湿式PECVD 化学气相沉上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第14页共23页Temperature Recorder Gas Scrubber for PECVD Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer for Flat Panel Display Clean Crane Spectroscope Reflectometer He Leak Detector Dry Pump for CVD Dry Pump for PVD EPD for Dry Etching Dry pump for Dry Etching Dry Etching/Ashing System Profiler System Chiller for Dry Etching Local Scrubber System for Dry Etching Rubbing Line Before PI cleaner Cassette BF PI Printer Pre-Cure Main-Cure Loader/Un loader APR cleaner Rubbing Inspection After Rubbing Cleaner ODF System Seal Dispenser Short Dispenser Seal De-bubbling machine UV cure Spacer Cure Oven Cooling /Rotation Unit Seal Cure Oven LC dispenser LC de-bubbling Vacuum Assembly Mis-align Checker Visual Inspection ODF Inline transfer and line control block Loader(3port) Un loader(3port) Cassette Buffer Turn Align Buffer Pairing/NG Buffer Spacer NG Buffer Turn Over Align 温度记录仪 PECVD 用尾气处理装置 平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪 洁净室起重机设备 平板显示用全自动分光反射光谱仪 氦气检漏仪 化学气相沉积设备用真空泵 物理气相沉积设备用真空泵 干刻终点侦测器 干刻机设备用真空泵 干刻灰化一体机 段差量测机 干刻机辅助设备冷却器 干刻用废气处理设备 摩擦线 PI 前清洗机 工装篮缓冲器 PI 涂布机 预固化炉 主固化炉 上下料机 APR 板清洗机 摩擦检查机 摩擦后清洗机 ODF 相关设备 边框胶涂布机 导电胶涂布机 边框胶脱泡机 紫外线固化机 衬垫球固化炉 冷却/旋转装置 边框胶固化炉 液晶滴下机 液晶脱泡机 真空贴合系统 对位检查机 目视检查机 ODF 联线传输和软件控制系统 上料机 下料机 卡匣缓冲器 旋转对位缓冲器 配对/不良制品缓冲器 衬垫球散布不良制品缓冲器 翻转对位器Q/S 积DRY 干刻CELL 制盒上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第15页共23页UV Mask stock Buffer after UV cure Cooling Buffer Spacer US Cleaner Spacer Remover(USC) US Cleaner after sealant dispensing US Cleaner after short dispensing Master PLC CIM PC Seal Inspection Cell Gap Inspection Dry Spacer Spray & Spacer count Auto Clave Edge Grinder LCD Panel cleaning and Polarizer attach system Panel Cleaner Polarizer Attach Machine LCD Panel Polarizer Rework Machine Cell Cassette(3&-10.4&) Single head scriber LCD glass in-line Scriber Multi head Scriber COG bonding machine COG Semi-automatic Bonding Machine Aging test system Signal generator for LCD Inspection Auto Optical Inspection Air Particle Counter Backlight tester Projector Microscope Ionizer blower Surface resistance test kit（点检） Charged Plate Monitor Static electricity voltage testing ADI-AOI AEI-AOI CF-AOI Array Tester Open/Short tester and prober ARRAY O/S probe TEG Prober UV Mask 存储柜 紫外线固化后缓冲器 冷却缓冲器 衬垫球超声波清洗机 衬垫球聚团去除装置 （超声波清洗机） 边框胶涂布后超声波清洗机 点胶后超声波清洗机 主 PLC CIM PC 边框涂布检查机 盒厚检查机 干式散布机 衬垫球计数器 偏光片贴附后加压消泡机 液晶面板磨边机 液晶面板清洗和偏光板贴附机系统 面板清洗机（用于液晶面板清洗和偏 光板贴附机系统） 偏光板贴附机（用于液晶面板清洗和 偏光板贴附机系统） 液晶面板偏光片返工机 3&-10.4&Cell 卡匣 单刀头切割机 液晶面板在线切割机 多刀头切割机 自动 COG 邦定机 半自动 COG 邦定机 老化测试系统 LCD 检查用信号发生器 自动光学检测仪 空气尘埃粒子测量仪 背光源色度亮度测量仪 投影仪 显微镜 离子风扇 表面电阻测量仪 平面带电测试仪 静电电压测量仪 显影后检测 刻蚀后检测 彩色滤光片检测 阵列电测机 开路/短路检测和探针系统 开路/短路探针系统 TEG 探针系统Q/SMODULE 模块TEST 测试上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第16页共23页TEG Tester Probe Unit for TEG Array repair Array Probe frame Visual test probe unit ET Probe unit Microscope Microscope and laser system Barcode Reader Fixed 2D Code Reader Portable 2D Code Reader PI+Macro inspection system Cell Gap Measure System Laser Trimmer Cell Laser Repair Oscilloscope Manual probe Precision Parameter Analyzer Product Optical Quality Measurement System Optical Parameters Measurement System Circuit drawing//Orcad P-spice Analog Simulation PCB Artwork 3D Mechanical Design Tool 2D structure Design Tool Pattern Generator Resistance Attenuator illuminance Colorimeter Spectrophotometer Color Analyzer R,L,C Measurement ESD Gun(EMI/EMS)table UV TEST chamber Seal dispenser three axis Measurement Stage Pre-tilt angle & cell gap measurement system LC resistivity meter Oscilloscope(Analog) Thermo-hygrostat Thermal Shock Chamber ESD Gun(EMI/EMS) Liquid crystal injection machine Plasma cleaning machine Simulation software of LCD Optical parameters TEG 测试系统 TEG 测试用探针系统 激光修补系统 阵列电测架 目测用探针系统 2 英寸电测用探针系统 显微镜（Panel） 带激光的显微镜 条形码阅读器 2 维读码器系统(固定类型) 2 维读码器系统(可移动类型) PI+Macro 检测系统 盒厚测量系统 激光切线系统 液晶盒激光修补系统 示波器 手动探针系统 TFT 参数分析仪 产品光学质量检测系统 光学特性量测设备 电路图编辑器 P-spice 电路仿真器 PCB 线路图编辑器 3D 机械设计工具 2D 结构设计工具 测试图形发生器 电阻衰减器 亮度色度计 亮度色度光谱仪 色彩分析仪 R,L,C 测试仪 静电枪台 紫外线测试箱 边框胶涂布机 三轴量测平台 倾斜角盒厚量测仪 液晶电阻率测量仪 模拟示波器 恒温恒湿柜 冷热冲击舱 静电枪 灌晶机 等离子清洗机 LCD 光学特性模拟软件Q/SR&D 研发上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第17页共23页Layout editor for mask CIM System -.Manufacturing Execution System(MES) -.Preventive Maintenance System(PMS) -.Statistical Process Control(SPC) -.Equipment Automation Program(EAP) -.Report System -.Engineering Data Analysis(EDA) -.Finished Goods Management System(FGMS) -.Engineering Data Base(EDB) Operator Interface Client(OIC) FAB Monitoring Client(FMC) Dispatcher(DSP) Fault Detection and Classification(FDC) Alarm Management System(AMS) Real Time Analysis/Monitoring System(RTAMS) System Management System(SMS) Unpacking line -.Un packer -.Glass conveyor -.Initial Cleaner -.Un loader Cassette Manual Guide Vehicle (MGV) Array Cassette ODF Cassette Automated Material Handling System(AMHS) -.Clean Stocker(STK) -.Overhead Handling System (OHS) -.Material Control System (MCS) Clean Robot Loader/Un loader Sorter MES DB Server MES APP Server EDA/EDB Server FDC Server PMS Server YMS Server File Server Centralized Backup/Recovery Server Development Server Testing Server Storage/Disk Array SAN Switch/Storage Link Tape Library Switch Router 版图设计软件 计算机集成制造系统 -.制造执行系统 -.机台预防保养系统 -.统计制程管制 -.设备自动化 -.报表系统 -.工程数据分析 -.产成品管理系统 -.工程数据库 操作者界面 工厂监控系统 任务分配系统 缺陷检查和分类系统 机台报警系统 缺陷管理的实时监控/分析系统 系统管理系统 拆包线 -.拆包机 -.玻璃传送带 -.预清洗 -.下料机 工装篮人工引导车 Array 工装篮 ODF 工装篮 自动物料搬运系统 -.洁净堆料机（STK） -.天车搬送系统（OHS） -.物料控制系统（MCS） 洁净机械手 上下料机 分片机 MES 数据服务器 MES 应用服务器 EDA/EDB 服务器 FDC 服务器 PMS 服务器 YMS 服务器 文件服务器 中央备份服务器 开发服务器 测试服务器 磁盘阵列 SAN 交换机 磁带库 网络交换机 网络路由器Q/SCIM 集成控制AMHS 物料搬运CIM Server 集成控制系 统服务器上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第18页共23页Firewall Message Bus TIBCO Rendezvous Data Protector Exhaust Fan(FRP) UPW system Auto control system CDA system Bulk gas supply system Exhaust Fan Fan Filter Unit Gas and liquid leak detection system Diesel oil generator VOC scrubber Plant Vacuum pump cleaning vacuum pump waste water monitor system vesda system chiller cooling tower HVAC PUMP heat energy supply system LPG system PCW system 35KV transformer Telephone system CATV system broadcasting system fire alarm system WWT 35KV switch device Mv switchgears, cast coil transformers, unit substations, power scada Security & CCTV system Fire fighting system Single head scriber Contact Angle Eyewash Wet station 网路防火墙 信息总线 TIBCO 消息集聚器 数据保护者 排气风机（玻璃钢离心式） 纯水超纯水设备 自动控制系统 压缩空气系统 大宗气体供应系统 排气风机 送风过滤系统 气体和液体测漏系统 柴油发电机系统 有机物蒸气洗净机 工厂真空系统 清洁真空系统 废水检测系统 空气烟感探测分析系统 冷水机组 冷却塔 空调水泵 集中供热系统 LPG 站系统 PCW 系统 35KV 变压器 电话系统 有线电视系统 广播系统 火警系统 废水处理系统 35KV 开关装置 中压变配电系统 安保和闭路电视系统 消防系统 单刀头切割机 接触角测量仪 洗眼台 带通风橱的中央实验台Q/SFacility 工程Analysis room 分析室上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第19页共23页 四．TFT 生产常用中英文名称 English nameLCD (Liquid Crystal Display) Glass, substrate or glass substrate TFT(Thin Film Transistor) Panel Array Cell Module Monitor Pixel Computer Notebook－PC RGB (Red, Green, Blue) PM (Preventive Maintenance) Quality Standard Material Yield CIM (Computer Integration Manufacturing) FA (Factory Automation) Exit Precaution Warning Emergency Alarm Clean room HEPA (High Efficient Particulate Air) filter Contamination 玻璃基版 薄膜晶体管 面板 阵列 液晶盒 模块 监视器 像素 电脑 笔记本电脑（简称为 NB） 指红绿蓝三基色 预防保养 品质 标准 (指作业标准或质量指针) 材料 良率 计算机集成制造（指以计算机系 统整合制造流程） 工厂自动化 出口 注意 警告 紧急 警报 洁净室 高效能粒子空气过滤网 污染 温度 湿度 压力 超纯水 去离子水 异丙醇Q/S中文名称液晶显示器General 一般专有名词Clean Room 洁净室Temperature (TEMP) Humidity Pressure UPW (Ultra-Pure Water) DIW (De-Ionized Water) IPA (Isopropyl Alcohol)上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第20页共23页Sticky mat Cleanliness ESD (Electro-static Discharge) Laminar flow Turbulent flow Alcohol Acetone Particle Dust Gowning room Raised floor (grating floor) Air shower Prohibit Clean suit (bunny suit, dust-free garment) Glove Hairnet Hood Mask Clean shoes (dust-free shoes, boots) Vehicle Robot AGV (Automatic Guided Vehicle) MGV (Manual Guided Vehicle) Clean lifter LIM (Linear Induction Motor) Carrier OHS (Overhead Handling System) Stocker (clean depot) 粘尘垫 洁净度 静电放电 层流（流体力学名词） 扰流（流体力学名词） 酒精 丙酮 微粒子 灰尘 换衣间 高架地板 风淋室 禁止 无尘服 手套 网帽 头罩 口罩 无尘鞋 搬运车 机械手 自动搬运车 人工搬运车 净化电梯 线性感应马达传送载具 天车搬送系统 工装篮存放架 电池 作业区 作业区和作业区之间 作业区之内 减震缓冲器 充电器 控制器 传送带 吊车（在 Stocker 内） 风扇过滤器Q/SFactory Automation 工厂自动化Battery Bay Inter-bay Intra-bay Bumper Charger Controller Conveyor Crane FFU (Fan Filter Unit)上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第21页共23页Host I/O (Input / Output) IR (Infra-Red) IRIF(Infra-Red Interface) Load Unload Magnetic tape Retrieve RTM (Rotary Transfer Machine) SCARA arm Reset Transportation Recipe Stock out Request Transfer Instruction Select Cancel Operation Support Process Start Comp. 主机 输入/输出 红外线 红外接口 上料 下料 磁条(AGV 路径所使用的磁条) 检索 旋转传送机构 AGV 传送臂 重新设定 传输 工艺参数的组合 将 Cassette 取出货栈 要求,请求 传送,运送 命令,指令 选择 取消 作业,操作 支援,支持 工艺 开始 完成（Completion 的缩写） 批量 批 ( 指生产线的在制品或产品控 制单位) 识别码(如 Lot ID or Chip ID) 片(Array 区玻璃基版计数单位) 片(Cell 区玻璃计数单位) 检验 缺陷 生产 滞留 释放 设备（简称为 EQP） 工具,机台 在制品（工艺在制品） 维修保养Q/SOperation Instruction 生产操作系统Batch Lot ID (Identity) Sheet Chip Inspection Defect Production Hold Release Equipment Tool WIP (Work In Process) Maintenance上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第22页共23页Cassette Empty Reserve Report Scrap Rework Log on Log off Note Stepper Backside-Exposure RIE (Reactive ion etching) PE (Plasma Etch) ICP (Inductive Coupled Plasma) O3 Asher CJ MS Heat Cool Spec Brush DI; DI Deionized Water UPW Vent Purge Rinse Veri-Code Bar-Code Vacuum Plasma PE (Plasma Etch) Uniformity Etching Rate Detergent 工装篮 ( 阵列段 ), 卡夹 ( 制盒段 及模块段) 空的 预备 报告 报废 返工 登录，入系统 注销登录，离开系统 批注 步进式曝光机 背面曝光 反应性离子刻蚀 等离子刻蚀机 电感偶式等离子刻蚀机 臭氧灰化（为去光刻胶机的模块 之一， 用来去除工艺的有机残留） 指高压水洗 指超音波水洗 加热 冷却 规格 毛刷（清洗机所使用之软刷） 去离子水 超纯水 破真空，真空环境下的玻璃送至 LoadLock 清洁（用 闭锁时，通入氮气平衡 CF 或 NF 系列的气体通 压力，以防止剧烈的气压变化造 入 CVD 清除器壁累积的硅） 冲洗 成破片 二维码 条形码 真空 等离子 等离子刻蚀机 均匀性 ( 类似 ( 大 - 小 )/ 平均值的 概念) 刻蚀速率(=刻蚀厚度/时间) 清洁剂 γ -丁内酯, 简称γ 液, 用于清除 APR 版上的 PI 光 刻胶 衬垫 料 （ 功能 与 普 通的 Spacer 相同, 一般用于大尺寸产 UV 胶（用于两块玻璃基板组合时 品 , 且可得到较好的 cell gap） 假固定用）Q/SArray 阵列段Cell 制盒段γ - Butyrolactone PS (Photo Spacer) UV sealant上海天马微电子有限公司企业标准TIANMATFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称第23页共23页Polyfron CDA (Compressed Dry Air) Control box Valve Breaker Clean booth Chip Tape Screw FPC (Flexible Printed Cable) PCB (Printed Circuit Board) TAB (Tape Automated Bonding) OLB (Outer Lead Bonding) ILB (Inner Lead Bonding) COG (Chip on Glass) ACF(Anisotropic Film) Conductive film) 均压纸（ 基板压合时使用, 用于 分隔基板, 可使压力均匀分布以 压缩高压干燥空气 及减少杂质所造成的损害） 电源控制箱 阀门, 控制阀 电源开关, 继电器 洁净工作台 芯片 胶带 螺丝 柔性印刷线路板 印刷电路板 自动连带式贴合 外引脚接合 内引脚接合 芯片压合在玻璃 各向异性导电膜Q/S模块段 Module
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