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在扫描探针纳米加工技术的基础上提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。
本文介绍了扫描探针纳米加工技術的基本原理、应用前景和最新进展并讨论了该技术的发展趋势。
而基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米加工技术是迄今为止最为简单的一种纳米加工技术